特許
J-GLOBAL ID：200903013547348745
光学多層膜ミラーおよびそれを備えたファブリペロー干渉計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
伊藤 洋二
, 三浦 高広
, 水野 史博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-319779
公開番号（公開出願番号）：特開2008-134388
出願日： 2006年11月28日
公開日（公表日）： 2008年06月12日
要約：
【課題】高反射帯域が広い光学多層膜ミラーおよびそれを備えたファブリペロー干渉計を提供する。【解決手段】第2、第4高屈折率膜5、9の壁面、つまり第1、第2低屈折率層4、8を貫通して第2、第4高屈折率膜5、9のうち第1、第2低屈折率層4、8の上面を覆う部分を支えるような補強部を設ける。これにより、第1、第2低屈折率層4、8の機械的な強度が不足しても、それにより第2、第4高屈折率膜5、9が反る等の問題が発生しなくなる。したがって、第1〜第4高屈折率膜3、5、7、9や第1、第2低屈折率層4、8の材料の選択により、高n比を達成した場合にも、第2、第4高屈折率膜5、9が反る等の問題が発生しないため、高反射帯域が広い光学多層膜ミラーを備えたファブリペロー干渉計とすることが可能となる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板(1)上に下側ミラー(M1)が配置されると共に、該下側ミラーと対応する位置において、該下側ミラーからギャップ(Ag)を介して配置された上側ミラー(M2)とを有してなる光学多層膜ミラーであって、
前記下側ミラーは、前記基板の上に形成された第1屈折率の第1高屈折率膜(3)と、前記第1高屈折率膜のうち該下側ミラーと対応する場所に配置され、前記第1屈折率よりも低い第2屈折率の第1低屈折率層(4)と、前記第1低屈折率層を覆うように形成された第2高屈折率膜(5)とを有すると共に、前記第1低屈折率層を貫通して前記第1高屈折率膜まで達し、前記第2高屈折率膜のうち前記第1低屈折率層の上面を覆う部分を支える補強部(5a、30)を有して構成され、
前記上側ミラーは、前記基板の上に形成された第1屈折率の第3高屈折率膜(7)と、前記第3高屈折率膜のうち該上側ミラーと対応する場所に配置され、前記第2屈折率の第2低屈折率層(8)と、前記第2低屈折率層を覆うように形成された第4高屈折率膜(9)とを有すると共に、前記第2低屈折率層を貫通して前記第3高屈折率膜まで達し、前記第4高屈折率膜のうち前記第2低屈折率層の上面を覆う部分を支える補強部(9a、31)を有して構成されていることを特徴とする光学多層膜ミラー。
IPC (3件)：
G02B 5/28
, G02B 5/26
, G01J 3/26
G02B5/28
, G02B5/26
, G01J3/26
2G020AA03
, 2G020CA12
, 2G020CB06
, 2G020CC23
, 2H048FA05
, 2H048FA07
, 2H048FA09
, 2H048FA12
, 2H048FA24
, 2H048GA07
, 2H048GA14
, 2H048GA24
, 2H048GA32
, 2H048GA48
, 2H048GA51
, 2H048GA60
, 2H048GA61
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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