ミラー、それを用いた光スイッチならびにその製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：和泉良彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-039752
公開番号（公開出願番号）：特開2003-202418
出願日： 2002年02月18日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：

【要約】【課題】光ビームやその位置が検出できる光検出手段をミラー自体に設け、部品点数を低減し、構成が簡易で、コストを低減できるミラーを提供する。【解決手段】ミラー基板2面上に、面積が均等な、光を検出する光検出層3が4個に分割して形成され、その上に、光を反射する反射率A%(A<l00)の光反射層4が設けられ、4個の光検出層3により取り出されるそれぞれの光信号に基いて、ミラー1に入射する光ビームの位置を検出する光ビーム位置検出手段を有する。

請求項（抜粋）：

ミラー基板面上に、光を検出する光検出層と、光を反射する光反射層とを設けたことを特徴とするミラー。

IPC (9件)：

G02B 5/08 , B81B 3/00 , B81C 3/00 , G02B 7/182 , G02B 26/08 , G02B 26/10 , G02B 26/10 104 , H01L 31/10 , H04B 10/02

FI (9件)：

G02B 5/08 Z , B81B 3/00 , B81C 3/00 , G02B 26/08 E , G02B 26/10 F , G02B 26/10 104 Z , H01L 31/10 A , G02B 7/18 Z , H04B 9/00 T

Fターム (37件)：

2H041AA12 , 2H041AA16 , 2H041AB14 , 2H041AB15 , 2H041AB34 , 2H041AB36 , 2H041AC01 , 2H041AC06 , 2H041AZ02 , 2H041AZ03 , 2H041AZ08 , 2H042DA00 , 2H042DA20 , 2H042DE00 , 2H043CB01 , 2H043CD02 , 2H043CD04 , 2H043CE00 , 2H045AB06 , 2H045AB13 , 2H045AB16 , 2H045AB73 , 2H045CA82 , 5F049MA02 , 5F049MA04 , 5F049MA05 , 5F049MB03 , 5F049NA18 , 5F049NA19 , 5F049NB01 , 5F049SE16 , 5F049SS03 , 5F049TA14 , 5K002AA07 , 5K002BA06 , 5K002BA07 , 5K002BA21

引用特許：

審査官引用 (3件)

光偏向器およびそれを用いた表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-227205 出願人：キヤノン株式会社
45度マイクロミラー装置の光学的品質を改良する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-121296 出願人：財団法人工業技術研究院
光マトリクススイッチ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-235856 出願人：株式会社日立製作所, 日立金属株式会社

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