特許
J-GLOBAL ID：200903013735061186
柱状構造体の製造方法およびこの柱状構造体を用いた電気泳動デバイス
出願人/特許権者：
アオイ電子株式会社
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アオイ電子株式会社 について
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-112636
公開番号（公開出願番号）：特開2004-317340
出願日： 2003年04月17日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：
【課題】所望の微細間隙を得ることができる柱状構造体の製造方法、およびDNA等の正確な分離が可能な電気泳動デバイスを提供すること。【解決手段】シリコン基板2にICP-RIEにて多数のピラー3を形成し、ピラー3を熱酸化し、熱酸化されたピラー3に多結晶シリコン膜を付着し、この多結晶シリコン膜を熱酸化し、熱酸化された多結晶シリコン膜に多結晶シリコン膜12を付着する。電気泳動デバイスは、上記の製造方法で製造された柱状構造体とガラス基板とから構成された微小流路を有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
シリコン基板にエッチングにて多数の柱状突起を形成する工程と、
前記柱状突起を熱酸化する工程と、
前記熱酸化された柱状突起に多結晶シリコン膜を付着する工程と、
前記多結晶シリコン膜を熱酸化する工程と、
前記熱酸化された多結晶シリコン膜に多結晶シリコン膜を付着する工程とを有することを特徴とする柱状構造体の製造方法。
IPC (4件)：
FI (5件)：
引用特許：
出願人引用 (4件)
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静電型微小アクチュエータとその製造方法
公報種別：公開公報 出願番号：特願平9-136438 出願人：株式会社日立製作所 -
柱状構造物を備えた構造体、その製造方法及びそれを用いたDNA分離デバイス
公報種別：公開公報 出願番号：特願2000-385396 出願人：三菱電機株式会社 -
分離装置およびその製造方法、ならびに分析システム
公報種別：公開公報 出願番号：特願2003-365142 出願人：日本電気株式会社
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