特許
J-GLOBAL ID：200903013781881376

プリアライメントセンサ

発明者：
今中 崇之

今中 崇之 について

, 
有永 雄司

有永 雄司 について


出願人/特許権者：
株式会社安川電機

株式会社安川電機 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-335530
公開番号（公開出願番号）：特開2002-141396
出願日： 2000年11月02日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：
【要約】【課題】 真空環境下や薬液雰囲気中で問題なく使えるとともに、高精度な検出ができるプリアライメントセンサを提供する。【解決手段】フレーム1の材料を硫酸硬質アルマイト処理をした後に蒸気封孔処理をしたアルミニウムとし、レンズホルダ4の材料をフッ素系樹脂とし、信号処理回路6をエポキシ樹脂でモールドし、そのエポキシ樹脂をアルミナ充填エポキシ樹脂とする。また凸レンズ3の中心位置を光源2と受光器5の中心間を結ぶ光軸中心から検出方向に垂直な水平方向にわずかにオフセットさせる。
請求項（抜粋）：
ベースに取付けられて側面から見た形状がコの字状のフレームと、前記フレームの下部(または上部)に取付けられた光源と、前記フレームの内側下部(または内側上部)に取付けられ、前記光源の拡散光を平行光に変換する凸レンズと、前記凸レンズを前記フレームに固定するレンズホルダと、前記フレームの内側上部(または内側下部)に取付けられ、前記平行光を受光して電気的信号にする受光器と、前記フレームに取付けられ、前記電気的信号を所望の変位量に変換する信号処理回路と、からなるプリアライメントセンサにおいて、前記フレームが、硫酸硬質アルマイト処理をした後に蒸気封孔処理をしたアルミニウムで形成されていることを特徴とするプリアライメントセンサ。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
H01L 21/68 M ,  H01L 21/30 520 A
Fターム (15件)：
5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA59 ,  5F031JA02 ,  5F031JA05 ,  5F031JA15 ,  5F031JA34 ,  5F031JA35 ,  5F031KA13 ,  5F031KA14 ,  5F031NA05 ,  5F031PA26 ,  5F046FB20 ,  5F046FC08
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (6件)
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