特許
J-GLOBAL ID:200903013869274828
窒化物半導体レーザ装置の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
佐野 静夫
, 山田 茂樹
, 小寺 淳一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-290532
公開番号(公開出願番号):特開2005-064136
出願日: 2003年08月08日
公開日(公表日): 2005年03月10日
要約:
【課題】 レーザ出射位置の制御が容易で歩留まりの良好な窒化物半導体レーザ装置の製造方法を提供する。 【解決手段】 ステム(601)の支持基体(102)にあらかじめハンダを付着させておき、その上に窒化物半導体レーザチップ(401)を搭載して、ハンダを溶融させて窒化物半導体レーザチップ(401)を支持基体(102)に固定する。支持基体(102)に付着させておくハンダの厚さは0.2μm以上かつ20μm以下とし、窒化物半導体レーザチップ(401)固定後のハンダの厚さは0.1μm以上かつ5μm以下とする。【選択図】 図6
請求項(抜粋):
窒化物半導体レーザダイオードを支持部材に搭載した窒化物半導体レーザ装置の製造方法であって、ハンダにより窒化物半導体レーザダイオードを支持部材に固定するものにおいて、
支持部材のうち窒化物半導体レーザダイオードを搭載する部位に、厚さが0.2μm以上かつ20μm以下のハンダを付着させておき、該ハンダを溶融させて窒化物半導体レーザダイオードを固定することを特徴とする窒化物半導体レーザ装置の製造方法。
IPC (3件):
H01S5/022
, H01L21/52
, H01S5/323
FI (3件):
H01S5/022
, H01L21/52 B
, H01S5/323 610
Fターム (19件):
5F047BA06
, 5F047BA14
, 5F047BA15
, 5F047BA17
, 5F047BA19
, 5F047BB03
, 5F047BB13
, 5F047BB16
, 5F073AA03
, 5F073AA21
, 5F073AA45
, 5F073AA74
, 5F073BA05
, 5F073CA07
, 5F073CB02
, 5F073DA05
, 5F073EA29
, 5F073FA22
, 5F073FA23
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
窒化物半導体発光素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-261919
出願人:日亜化学工業株式会社
審査官引用 (4件)