環境感受性デバイス、環境感受性素子の封止方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-241967
公開番号（公開出願番号）：特開2009-076232
出願日： 2007年09月19日
公開日（公表日）： 2009年04月09日
要約：

【課題】環境感受性デバイスの水蒸気による劣化を防止することを目的とする。【解決手段】基板上に、環境感受性素子と、バリア性積層体とを、該順に有し、かつ、該バリア性積層体は、少なくとも1層の水素化窒化珪素層と、少なくとも1層の他の無機層とを有する、環境感受性デバイス。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

基板上に、環境感受性素子と、バリア性積層体とを、該順に有し、かつ、該バリア性積層体は、少なくとも1層の水素化窒化珪素層と、少なくとも1層の他の無機層とを有する、環境感受性デバイス。

IPC (4件)：

H05B 33/04 , H01L 21/312 , H01L 21/318 , H01L 51/50

FI (6件)：

H05B33/04 , H01L21/312 N , H01L21/318 M , H01L21/318 B , H01L21/318 C , H05B33/14 A

Fターム (42件)：

3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC23 , 3K107CC27 , 3K107DD17 , 3K107EE48 , 3K107EE49 , 3K107EE50 , 3K107FF14 , 3K107GG03 , 5F058AB06 , 5F058AB07 , 5F058AC10 , 5F058AD02 , 5F058AD09 , 5F058AD10 , 5F058AD11 , 5F058AF01 , 5F058AF04 , 5F058AG01 , 5F058AG09 , 5F058AH03 , 5F058BA07 , 5F058BA20 , 5F058BB06 , 5F058BB07 , 5F058BC02 , 5F058BC08 , 5F058BC10 , 5F058BC11 , 5F058BD02 , 5F058BD04 , 5F058BD10 , 5F058BD13 , 5F058BD15 , 5F058BD18 , 5F058BD19 , 5F058BF07 , 5F058BF12 , 5F058BF17 , 5F058BF18 , 5F058BJ03

引用特許：

出願人引用 (2件)

米国特許6268695号明細書
表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-322104 出願人：ソニー株式会社

審査官引用 (4件)

保護膜および有機EL素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-010843 出願人：パイオニア株式会社
ガスバリアフィルムおよびこれを用いた有機デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-273810 出願人：富士フイルム株式会社
発光装置およびその作製方法、及び製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-016273 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所

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