多軸検出型角速度、加速度センサ

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-355276
公開番号（公開出願番号）：特開2000-180175
出願日： 1998年12月15日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】センサ装置の小型化、出力誤差の減少。【解決手段】基板上(20)に、平面角型形状の質量部(21)と、質量部(21)を支持する梁(24)と、質量部()21を駆動する駆動用電極と、駆動された状態の質量部が直交する3つの軸(X,Y,Z)で構成される三次元系での軸回りの角速度や軸方向の加速度により変位し、その変位量を検出する検出部を備えた多軸検出型角速度、加速度センサにおいて、検出部は、質量部(21)の側方に形成された第1の検出部(21b,27a、21d、28a、21e、29a、21g、30a)と、質量部(21)に開口穴(21a)が形成され、開口穴(21a)と、基板(21)に一端が固定され、開口穴(21a)内に配された第1の固定電極(31)とで形成された第2の検出部と、質量部(21)と質量部(21)を被うケース、及び基板(20)に固定された第2の固定電極(33)とで形成された第3の検出部とから構成され、第1、第2、及び第3の検出部によって、2軸回りの角速度、及び3軸方向の加速度を検出し得る構成にする。

請求項（抜粋）：

基板上に、平面角型形状の質量部と、前記質量部を支持する梁と、前記質量部を駆動する駆動用電極と、駆動された状態の前記質量部が、直交する3つの軸で構成される三次元系での軸回りの角速度や軸方向の加速度により変位し、その変位量を検出する検出部を備えた多軸検出型角速度、加速度センサにおいて、3軸回りの角速度、及び3軸方向の加速度を2つのセンサ素子の組み合わせで検出し得る構成にしたことを特徴とする多軸検出型角速度、加速度センサ。

IPC (4件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , G01P 15/00 , G01P 15/125

FI (4件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , G01P 15/00 K , G01P 15/125

Fターム (6件)：

2F105BB01 , 2F105BB13 , 2F105CC04 , 2F105CC11 , 2F105CD03 , 2F105CD05

引用特許：

審査官引用 (4件)

複合センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-159047 出願人：日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
力学量センサおよびそれを用いた集積回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-256377 出願人：日産自動車株式会社
回転振動ジャイロスコープおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-301709 出願人：モトローラ・インコーポレイテッド

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