力学量センサおよびそれを用いた集積回路

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村純之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-256377
公開番号（公開出願番号）：特開平10-104266
出願日： 1996年09月27日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】【課題】衝撃等に対する強度が大きく、かつゴミによる不都合を解決し、信頼性が高く、製造歩留まりが高くて製造コストが低い力学量センサを提供する。【解決手段】導電性物質からなる質量15と前記質量を基板上に支持する導電性物質からなる弾性支持体17とを有する振動系と、前記基板に固定され、前記質量内に設けた貫通孔100を貫通するように配置された前記質量の変位制限手段88と、力学量入力に応じて前記質量に発生する力を検出軸方向の前記質量の変位として検出する前記質量と静電結合した電極(88が兼用)と、を備えた力学量センサ。上記変位制限手段が衝撃印加時における質量の変位を制限するので、落下等の衝撃が印加されても質量と電極とのずれがなくなり、信頼性が向上する。

請求項（抜粋）：

導電性物質で形成された質量と前記質量を基板上に支持する導電性物質で形成された弾性支持体とを有する振動系と、前記基板に固定され、前記質量内に設けた貫通孔を貫通するように配置された、前記質量の変位を制限する変位制限手段と、力学量入力に応じて前記質量に発生する力を検出軸方向の前記質量の変位として検出する前記質量と静電結合した電極と、を備えたことを特徴とする力学量センサ。

IPC (4件)：

G01P 15/125 , G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84

FI (4件)：

G01P 15/125 , G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84 Z

引用特許：

審査官引用 (9件)

3軸加速度計
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-301708 出願人：モトローラ・インコーポレイテッド
振動ジャイロの駆動方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-318158 出願人：日産自動車株式会社
フルモールド実装型加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-249033 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立カーエンジニアリング

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