特許
J-GLOBAL ID：200903014036009787
液浸露光用ポジ型レジスト組成物およびレジストパターンの形成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-170424
公開番号（公開出願番号）：特開2005-284238
出願日： 2004年06月08日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：
【課題】液浸露光用ポジ型レジスト組成物およびレジストパターンの形成方法、特に、水に対する遮断性に優れる液浸耐性を有する液浸露光用ポジ型レジスト組成物、および該レジスト組成物を用いたレジストパターンの形成方法を提供すること。【解決手段】本発明の液浸露光用ポジ型レジスト組成物を、(A)酸の作用によりアルカリ可溶性が増大する樹脂成分と、(B)露光により酸を発生する酸発生剤成分を含有してなる液浸露光用ポジ型レジスト組成物であって、 前記樹脂成分(A)が、少なくとも、アクリル酸エステル構成単位(a1)と、酸解離性溶解抑制基を有する(メタ)アクリル酸エステル構成単位(a2)とを含み、 前記構成単位(a1)が、前記構成単位(a1)のアクリル酸エステルに結合した環式基と、該環式基に結合している特定構造のフッ素化有機基とからなることを特徴とするレジスト組成物として構成する。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)酸の作用によりアルカリ可溶性が増大する樹脂成分と、(B)露光により酸を発生する酸発生剤成分を含有してなる液浸露光用ポジ型レジスト組成物であって、
前記樹脂成分(A)が、少なくとも、アクリル酸エステル構成単位(a1)と、酸解離性溶解抑制基を有する(メタ)アクリル酸エステル構成単位(a2)とを含み、
前記構成単位(a1)が、前記構成単位(a1)のアクリル酸エステルに結合した環式基と、該環式基に結合しているフッ素化有機基とからなり、
有機基の水素原子の少なくとも一部がフッ素により置換されてなる前記フッ素化有機基が置換または非置換のアルコール性水酸基を有することを特徴とする液浸露光用ポジ型レジスト組成物。
IPC (3件)：
G03F7/039
, C08F220/10
, H01L21/027
G03F7/039 601
, C08F220/10
, H01L21/30 502R
2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AC04
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BG00
, 2H025FA03
, 2H025FA12
, 2H025FA17
, 4J100AL08P
, 4J100AL08Q
, 4J100AL08R
, 4J100BA03Q
, 4J100BA03R
, 4J100BA11Q
, 4J100BB18Q
, 4J100BB18R
, 4J100BC04R
, 4J100BC07P
, 4J100BC08Q
, 4J100BC08R
, 4J100BC53Q
, 4J100CA04
, 4J100CA05
, 4J100DA01
, 4J100DA04
, 4J100DA36
, 4J100JA38
