特許
J-GLOBAL ID：200903014108667989

密閉品のリークテスト方法

発明者：
落合 英二郎

落合 英二郎 について

, 
前田 章弘

前田 章弘 について


出願人/特許権者：
日本真空技術株式会社

日本真空技術株式会社 について


代理人 (1件)： 北村 欣一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-186613
公開番号（公開出願番号）：特開平11-030565
出願日： 1997年07月11日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：
【要約】【課題】従来、測定原理としては不可能であったグロスリークの有無を正確に判定できる新規なテスト方法を提供すること【解決手段】密閉品2を収めたテスト室1内を真空に排気したのち該テスト室内にトレーサーガスを導入して該室内を大気圧以上とし、次に該室内を大気に連通しクリーンアップガスを導入して該室内のトレーサーガスを追い出したのち該室内を大気と遮断し、続いて該室内を真空に排気しながら該クリーンアップガス中に混入する該密閉品から放出されるトレーサーガスの有無をリークディテクタ17により検出する。トレーサーガスとしてアルゴンガス又はヘリウムガスを使用し、クリーンアップガスには窒素ガス又はドライエアを使用し、リークディテクタをオリフィス25を介してテスト室から掃引ポンプ15に連なるテスト回路16に接続する。
請求項（抜粋）：
密閉品を収めたテスト室内を真空に排気したのち該テスト室内にトレーサーガスを導入して該室内を大気圧以上とし、次に該室内を大気に連通しクリーンアップガスを導入して該室内のトレーサーガスを追い出したのち該室内を大気と遮断し、続いて該室内を真空に排気しながら該クリーンアップガス中に混入する該密閉品から放出されるトレーサーガスの有無をリークディテクタにより検出することを特徴とする密閉品のリークテスト方法。
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (10件)
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引用文献：
出願人引用 (1件)
  • ヘリウム漏れ試験方法

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