特許

J-GLOBAL ID：200903014122248395

レーザ装置、レーザカッタ、及びレーザ波長変換方法

発明者： 川上 浩輝
出願人/特許権者： ホーヤ・コンテニュアム株式会社
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-332191
公開番号（公開出願番号）：特開2000-164950
出願日： 1998年11月24日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】 小型で、アライメント調整が容易で、安価な、レーザ発振器の出力を最大限有効に利用できるレーザ装置を提供する。【解決手段】 アッテネータ11を、波長変換素子であるKTP44及びBBO45よりもレーザ発振器41側に位置させる。レーザ発振器からレーザ光は、アッテネータでの減衰を受けた後、KTP及びBBOで波長変換される。波長変換されたレーザ光は、フィルターユニット48で波長選択され、エキスパンダーで拡大された後、外部へ出射される。

請求項（抜粋）：

基本波長を有する第1のレーザ光を出射するレーザ発振器と、前記第1のレーザ光を波長変換して互いに異なる波長を有する複数のレーザ光を含む第2のレーザ光に変換する波長変換手段と、前記第2のレーザ光から一の波長を有するレーザ光を選択する選択手段とを有するレーザ装置において、前記レーザ発振器と前記波長変換手段との間に、前記第1のレーザ光を減衰させるアッテネータを設けたことを特徴とするレーザ装置。

IPC (5件)：

H01S 3/00 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/06 ,  G02F 1/37 ,  H01S 3/108

FI (6件)：

H01S 3/00 B ,  B23K 26/00 M ,  B23K 26/00 G ,  B23K 26/06 E ,  G02F 1/37 ,  H01S 3/108

Fターム (30件)：

2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002BA02 ,  2K002BA03 ,  2K002CA02 ,  2K002EA30 ,  2K002HA13 ,  2K002HA20 ,  2K002HA32 ,  4E068AE00 ,  4E068CA01 ,  4E068CA04 ,  4E068CA06 ,  4E068CB08 ,  4E068CC02 ,  4E068CD05 ,  4E068CD08 ,  4E068DA09 ,  5F072AB02 ,  5F072AK01 ,  5F072JJ01 ,  5F072JJ08 ,  5F072KK01 ,  5F072KK12 ,  5F072KK30 ,  5F072MM02 ,  5F072PP01 ,  5F072QQ02 ,  5F072RR01 ,  5F072YY08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 導波路型光変調素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-314800   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 光走査記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-314799   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 半導体製造装置の照明光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-294443   出願人：株式会社ニコン
• 露光用照明装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-007849   出願人：ソニー株式会社