特許
J-GLOBAL ID:200903014157360740
カラーフィルタの検査方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (8件):
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 峰 隆司
, 福原 淑弘
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-205197
公開番号(公開出願番号):特開2008-032929
出願日: 2006年07月27日
公開日(公表日): 2008年02月14日
要約:
【課題】前工程の検査機で検出した欠陥情報を、後工程の検査機の欠陥判定に反映させることにより、検査効率を向上させたカラーフィルタの検査方法を提供する。【解決手段】カラーフィルタ基板の製造工程ごとに設けられた複数の検査手段からのカラーフィルタ基板の検査結果情報を、前記複数の検査手段とネットワークで接続されたデータベース並びにサーバーに、個々のカラーフィルタ基板に付与された基板IDと対応付けて保存し、次工程以降の製造工程に設けられた検査手段がカラーフィルタ基板を検査する際に、以前の製造工程の検査結果情報を前記基板IDを用いて前記データベース並びにサーバーから検索・入手し、次工程以降の製造工程の検査結果と以前の製造工程の検査結果情報とを比較処理し、以前の製造工程の検査において検出され規格内と判定された欠陥を、検査結果の判定から除外することを特徴とする。【選択図】図4
請求項(抜粋):
カラーフィルタ基板の製造工程ごとに設けられた複数の検査手段からのカラーフィルタ基板の検査結果情報を、前記複数の検査手段とネットワークで接続されたデータベース並びにサーバーに、個々のカラーフィルタ基板に付与された基板IDと対応付けて保存し、次工程以降の製造工程に設けられた検査手段が、以前の製造工程の検査結果情報を前記データベースから検索・入手して欠陥の判定に利用するカラーフィルタ基板の欠陥を検査する方法であって、
次工程以降の製造工程に設けられた検査手段がカラーフィルタ基板を検査する際に、以前の製造工程の検査結果情報を前記基板IDを用いて前記データベース並びにサーバーから検索・入手し、次工程以降の製造工程の検査結果と以前の製造工程の検査結果情報とを比較処理し、以前の製造工程の検査において検出され規格内と判定された欠陥を、検査結果の判定から除外することを特徴とするカラーフィルタ基板の検査方法。
IPC (5件):
G02B 5/20
, G02F 1/133
, G02F 1/13
, G01N 21/88
, G01M 11/00
FI (5件):
G02B5/20 101
, G02F1/1335 505
, G02F1/13 101
, G01N21/88 Z
, G01M11/00 T
Fターム (25件):
2G051AA90
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051CA04
, 2G051CA07
, 2G051EA11
, 2G051EA12
, 2G051EA21
, 2G086EE05
, 2G086EE10
, 2H048BA02
, 2H048BA11
, 2H048BB02
, 2H048BB24
, 2H048BB42
, 2H088FA13
, 2H088FA25
, 2H088HA12
, 2H088MA20
, 2H091FA02Y
, 2H091FC30
, 2H091FD04
, 2H091GA01
, 2H091LA30
, 2H191FA02Y
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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