導波路型光変調器及びその製造方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：谷義一 , 阿部和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-110326
公開番号（公開出願番号）：特開2005-292663
出願日： 2004年04月02日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：

【課題】電気光学定数が極めて大きい立方晶かつ2次の電気光学定数を有する誘電体結晶を基本とした光導波路を用いて、電極部を薄層化することにより高速光変調器を実現すること。【解決手段】 KTa1-xNbxO3導波路基板24に、埋め込み導波路23及び変調用電極21,22を形成する(a)。次に、第1の石英基板25に変調用電極21,22を、接着剤を用いて貼り付け(b)、基板裏面24bを薄さ10μm程度にまで薄層化する(c)。次に、第1の石英基板25を取り外し、薄層化された基板裏面24bを第2の石英基板26に貼り付け、変調信号が印加可能な光変調器として実現した(d)。基板裏面24bは研磨により薄層化され、導波路基板24の組成比として、Yを0以上で0.1未満とした。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

KTa1-xNbxO3又はK1-yLiyTa1-xNbxO3からなる導波路基板と、該導波路基板内に設けられたKTa1-xNbxO3又はK1-yLiyTa1-xNbxO3からなる埋め込み導波路と、前記導波路基板上で、かつ前記埋め込み導波路の近傍に設けられた変調用電極と、該変調用電極を有する前記導波路基板の基板表面と反対側の基板裏面が薄層化され、該薄層化された前記基板裏面が貼り付けられた他の基板とを備えたことを特徴とする導波路型光変調器。

IPC (1件)：

G02F1/035

FI (1件)：

G02F1/035

Fターム (10件)：

2H079AA02 , 2H079AA12 , 2H079BA01 , 2H079BA03 , 2H079DA03 , 2H079DA22 , 2H079EA03 , 2H079EB05 , 2H079JA05 , 2H079JA08

引用特許：

出願人引用 (1件)

光変調器の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-035259 出願人：日本電気株式会社

審査官引用 (3件)

光変調器の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-076216 出願人：日本碍子株式会社
光導波路及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-138967 出願人：日本電信電話株式会社
光変調器の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-076290 出願人：日本碍子株式会社

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