検査装置および検査方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-195128
公開番号（公開出願番号）：特開2002-014054
出願日： 2000年06月28日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：

【要約】【課題】検査装置による自動分類に加えて、ユーザのニーズに対応してユーザカテゴリ分類設定を可能にした検査装置および検査方法を提供する。【解決手段】撮像した撮像画像を記憶する記憶手段と、該記憶手段が記憶した複数個の撮像画像を表示する第一の領域と表示された撮像画像の特徴に応じて分類された撮像画像(分類撮像画像という。)を表示する第二の領域とを有する表示手段とを備え、該表示手段は、被検体の分類カテゴリを表示し、分類カテゴリについて手動によって設定されるユーザカテゴリを表示し、該ユーザカテゴリに応じて選択された撮像画像をユーザカテゴリごとの分類撮像画像の集合として表示する。

請求項（抜粋）：

撮像した撮像画像を記憶する記憶手段と、該記憶手段が記憶した複数個の撮像画像を表示する第一の領域と表示された撮像画像の特徴に応じて分類された撮像画像(分類撮像画像という。)を表示する第二の領域とを有する表示手段とを備えた検査装置において、前記表示手段は、被検体の分類カテゴリを表示し、分類カテゴリについて手動によって設定されるユーザカテゴリを表示し、該ユーザカテゴリに応じて選択された撮像画像をユーザカテゴリごとの分類撮像画像の集合として表示することを特徴とする検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/956 , G06T 1/00 305 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01N 21/956 A , G06T 1/00 305 A , H01L 21/66 J

Fターム (22件)：

2G051AA51 , 2G051AB07 , 2G051CA04 , 2G051EC01 , 2G051FA01 , 4M106AA01 , 4M106CA38 , 4M106CA41 , 4M106DB04 , 4M106DB05 , 4M106DB21 , 4M106DJ18 , 4M106DJ23 , 4M106DJ38 , 5B057AA03 , 5B057BA24 , 5B057CC02 , 5B057CD05 , 5B057CE08 , 5B057DA03 , 5B057DA16 , 5B057DC32

引用特許：

審査官引用 (8件)

検査方法、検査システムおよび電子デバイスの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-341991 出願人：株式会社日立製作所
画像ファイル記録方法および画像ファイリングシステム
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-199178 出願人：富士写真フイルム株式会社
ウエーハ表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-173899 出願人：株式会社東芝

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