レーザビームによるマーキング方法及び装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：小川信一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-327976
公開番号（公開出願番号）：特開2003-131392
出願日： 2001年10月25日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：

【要約】【課題】露光ユニットとステージとを相対移動させながらレーザビームで識別コードをマーキングする場合、濃度や形状が均質な識別コードをマーキング可能にするマーキング方法及び装置を提供する。【解決手段】被マーキング物品50を載置したステージ2と、該ステージ2の上方に配置した露光ユニット1とを相対移動させ、露光ユニット1から出力するレーザビームにより被マーキング物品50に識別コードCをマーキングする方法及び装置において、露光ユニット1から出力するレーザビームを前記相対移動方向と直交する方向に時系列的に順次偏向させるように走査すると共に、その照射方向を前記相対移動方向に同期するようにずらせ、被マーキング物品50上の照射点を直交座標状に整列させる。

請求項（抜粋）：

被マーキング物品を載置したステージと、該ステージの上方に配置した露光ユニットとを相対移動させ、前記露光ユニットから出力するレーザビームにより前記被マーキング物品上に識別コードをマーキングする方法において、前記露光ユニットから出力するレーザビームを前記相対移動方向と直交する方向に時系列的に順次偏向させるように走査すると共に、その照射方向を前記相対移動方向にずらせ、前記被マーキング物品上の照射点を直交座標に整列させるレーザビームによるマーキング方法。

Fターム (4件)：

2H097AA03 , 2H097CA17 , 2H097GB04 , 2H097LA12

引用特許：

審査官引用 (9件)

露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-351680 出願人：東レエンジニアリング株式会社
レーザー露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-074709 出願人：東レエンジニアリング株式会社
特開平4-191742

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