特許

J-GLOBAL ID：200903014251025629

フォトマスク保護テープ用ポリエステルフィルム

発明者： 鈴木 孝
出願人/特許権者： 三菱樹脂株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-092633
公開番号（公開出願番号）：特開2008-248135
出願日： 2007年03月30日
公開日（公表日）： 2008年10月16日
要約：

【課題】 内部異物やオリゴマーの発生を防止し、フォトマスク保護テープとして高精細な回路パターンに形成に使用することができるポリエステルフィルムを提供する。【解決手段】 下記式(1)および(2)を同時に満たす量のチタン化合物およびリン化合物を含み、かつアンチモン元素の含有量が10ppm以下であることを特徴とするフォトマスク保護テープ用二軸配向ポリエステルフィルム。 0<WTI≦20 ...(1) 1≦WP≦300 ...(2)(上記式中、WTIはポリエステルフィルム中のチタン元素含有量(ppm)、WPはポリエステルフィルム中のリン元素含有量(ppm)を示す)【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

下記式(1)および(2)を同時に満たす量のチタン化合物およびリン化合物を含み、かつアンチモン元素の含有量が10ppm以下であることを特徴とするフォトマスク保護テープ用二軸配向ポリエステルフィルム。 0<WTI≦20 ...(1) 1≦WP≦300 ...(2) (上記式中、WTIはポリエステルフィルム中のチタン元素含有量(ppm)、WPはポリエステルフィルム中のリン元素含有量(ppm)を示す)

IPC (4件)：

C08J 5/18 ,  B29C 55/12 ,  G03F 1/14 ,  C08G 63/85

FI (4件)：

C08J5/18 ,  B29C55/12 ,  G03F1/14 E ,  C08G63/85

Fターム (28件)：

2H095BA11 ,  2H095BC20 ,  4F071AA46 ,  4F071AB06 ,  4F071AB25 ,  4F071AH19 ,  4F071BA01 ,  4F071BB08 ,  4F071BC01 ,  4F210AA24 ,  4F210AB15 ,  4F210AG01 ,  4F210AR15 ,  4F210QA02 ,  4F210QA03 ,  4F210QC05 ,  4F210QG01 ,  4F210QG18 ,  4J029AA03 ,  4J029AC01 ,  4J029AD10 ,  4J029AE03 ,  4J029BA03 ,  4J029CB06A ,  4J029JB131 ,  4J029JC583 ,  4J029JD06 ,  4J029JF321

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平4-355759号公報
  
• フォトマスク保護用粘着フィルムの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-036359   出願人：積水化学工業株式会社
• 表面保護膜およびこれを用いた表面保護フィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-420473   出願人：株式会社きもと
• ポリエステルフイルムの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-331640   出願人：帝人株式会社

審査官引用 (4件)

• ドライフィルムレジスト支持体用二軸配向ポリエステルフィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-212774   出願人：帝人デュポンフィルム株式会社
• 光学用ポリエステルフィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-264626   出願人：三菱化学ポリエステルフィルム株式会社
• 特開平4-355759
  
• 特開平4-355759