特許
J-GLOBAL ID：200903014252777497
ウェーハ研削・研磨量測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-336716
公開番号（公開出願番号）：特開平10-175161
出願日： 1996年12月17日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：
【要約】【課題】ウェーハの研削・研磨量を加工中に直接的に且つ正確に測定することができるウェーハ研削・研磨量測定装置を提供する。【解決手段】本発明によれば、ウェーハ吸着テーブル44によりウェーハ50を吸着するヘッド18に差動トランス60を固着するとともに、ウェーハ50の研磨面より進退可能な棒状部材66をヘッド18に設置し、この棒状部材66に差動トランス60のコア64を固着する。これにより、ウェーハ50の研磨面を研磨布14に押し当てて研磨を行っている加工中に棒状部材66の先端が研磨布14に当接してコア64を研磨布14から一定の高さに保持し、研磨が進行するに伴ってヘッド18が変位すると、このヘッド18の変位と連動して差動トランス60が変位する。従って、差動トランス60とコア64の相対的な移動量からウェーハ50の研磨量を検出することができる。
請求項（抜粋）：
ウェーハをウェーハ吸着テーブルで保持した状態で加工部材に前記ウェーハの加工面を押し付けながら前記ウェーハ吸着テーブルと前記加工部材を相対的に運動させて前記ウェーハを研削・研磨する加工装置において、前記ウェーハ吸着テーブルと連動して移動する差動トランスのコイルと、前記差動トランスのコアを支持し、前記コアを前記加工部材の加工面から一定の高さに保持する支持部材と、から成り、ウェーハの加工に伴って前記差動トランスのコイルとコアとの相対変化からウェーハの加工量を測定することを特徴とするウェーハ研削・研磨量測定装置。
IPC (4件)：
B24B 37/04
, B24B 49/10
, G01B 21/08
, H01L 21/304 321
B24B 37/04 D
, B24B 49/10
, G01B 21/08
, H01L 21/304 321 E
