特許
J-GLOBAL ID：200903014310065753
分光素子アレイ及びこれを備えた分光画像測定装置並びに分光画像測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
小栗 昌平
, 本多 弘徳
, 市川 利光
, 高松 猛
, 濱田 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-295364
公開番号（公開出願番号）：特開2005-062104
出願日： 2003年08月19日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：
【課題】 画素単位での分光が可能になるとともに、小型・簡素な構造で高速の作動が可能となり、スペクトルの時間的変化と空間的な変化とを同時に観測可能な分光素子アレイ及びこれを備えた分光画像測定装置並びに分光画像測定方法を得る。【解決手段】 基板上に回動自在に支持された回折格子を電界印加によって傾斜させ、回折格子の回折面に入射される光を分光する微小電気駆動機械式の分光素子が2次元状に複数配列されてなり、これら分光素子のそれぞれが個別に傾斜角を設定可能にする。分光素子は、回折格子を傾斜駆動するための可動電極と、可動電極に対峙して回折格子の脇部に積層して設けられ、設定する各傾斜角に対応して可動電極と対峙する複数層の固定電極とで構成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に回動自在に支持された回折格子を電界印加によって傾斜させ、該回折格子の回折面に入射される光を分光する微小電気駆動機械式の分光素子が2次元状に複数配列されてなり、これら分光素子のそれぞれが個別に傾斜角を設定可能とされていることを特徴とする分光素子アレイ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (14件)：
2G020BA20
, 2G020CB02
, 2G020CC04
, 2G020CC07
, 2G020CC45
, 2G020CC55
, 2G020CD06
, 2G020CD11
, 2G020CD24
, 2G020CD52
, 2H049AA07
, 2H049AA58
, 2H049AA61
, 2H049AA69
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (2件)
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