薄板材の厚み変動測定方法および装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-092609
公開番号（公開出願番号）：特開2000-283728
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】ウエハなどの薄板材の厚み変動を高精度で能率的に測定できるようにする。【解決手段】薄板材wの表面に測定光L1 を照射し、薄板材wの表面で反射した測定光L1 を受光して薄板材wの表面の変位を測定する光学式変位計20を、薄板材wの両面側方にそれぞれ配置しておき、それぞれの変位計20で測定された薄板材wの表面の変位から薄板材wの厚み変動を求める。

請求項（抜粋）：

薄板材の表面に測定光を照射し、薄板材の表面で反射した測定光を受光して薄板材の表面の変位を測定する光学式変位計を、薄板材の両面側方にそれぞれ配置しておき、それぞれの変位計で測定された薄板材の表面の変位から薄板材の厚み変動を求める薄板材の厚み変動測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/06 , G01B 9/02 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01B 11/06 G , G01B 9/02 , H01L 21/66 P

Fターム (56件)：

2F064AA02 , 2F064BB00 , 2F064CC10 , 2F064EE01 , 2F064FF02 , 2F064GG00 , 2F064GG12 , 2F064GG23 , 2F064GG32 , 2F064GG34 , 2F064GG38 , 2F064HH01 , 2F064HH06 , 2F064JJ01 , 2F065AA06 , 2F065AA30 , 2F065BB03 , 2F065BB16 , 2F065CC03 , 2F065CC19 , 2F065DD06 , 2F065FF13 , 2F065FF49 , 2F065FF52 , 2F065FF66 , 2F065FF67 , 2F065GG05 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065JJ01 , 2F065JJ05 , 2F065JJ09 , 2F065LL00 , 2F065LL04 , 2F065LL11 , 2F065LL12 , 2F065LL33 , 2F065LL34 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065LL46 , 2F065MM04 , 2F065MM07 , 2F065NN20 , 2F065PP02 , 2F065PP13 , 2F065PP22 , 4M106AA01 , 4M106BA04 , 4M106CA48 , 4M106DH03 , 4M106DH11 , 4M106DH32 , 4M106DH37 , 4M106DH39 , 4M106DJ06

引用特許：

審査官引用 (7件)

実装基板外観検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-137079 出願人：松下電器産業株式会社
ウエハー形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-202624 出願人：京セラ株式会社
特開昭62-284248

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