特許
J-GLOBAL ID:200903014375217917
太陽電池パネル検査装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
高橋 省吾
, 稲葉 忠彦
, 村上 加奈子
, 中鶴 一隆
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-263839
公開番号(公開出願番号):特開2007-078404
出願日: 2005年09月12日
公開日(公表日): 2007年03月29日
要約:
【課題】 衛星搭載用の太陽電池では内在する太陽電池パネルのカバーガラスのクラックと結晶層の微細な内部の欠陥検査が求められている。【解決手段】 太陽電池パネルのカバーガラスのクラックと結晶層の微細な内部欠陥を検出する太陽電池パネル検査装置において、複数の照明素子が2次元配列されたアレイ型照明装置と、上記アレイ型照明装置から照射された太陽電池の披検査箇所を撮像するために、赤外域に感度を有する撮像素子から成るCCDカメラにより可能にしたものである。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
太陽電池パネルの内部欠陥を検出する太陽電池パネル検査装置において、
複数の照明素子が2次元配列されたアレイ型照明装置と、
上記アレイ型照明装置から照射された太陽電池の披検査箇所を撮像するために、赤外域に感度を有する撮像素子から成るCCDカメラと、
を具備したことを特徴とする太陽電池パネル検査装置。
IPC (3件):
G01N 21/956
, H01L 31/04
, G01N 21/958
FI (3件):
G01N21/956 A
, H01L31/04 K
, G01N21/958
Fターム (17件):
2G051AA51
, 2G051AA73
, 2G051AA84
, 2G051AB06
, 2G051AB07
, 2G051BA01
, 2G051BA06
, 2G051BB11
, 2G051BC03
, 2G051BC05
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051DA06
, 2G051DA13
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 5F051KA10
引用特許: