特許
J-GLOBAL ID：200903014384444241
光学素子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
薄田 利幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-263943
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120607
出願日： 1993年10月22日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：
【要約】【目的】屈折率の異なる2種類の物質の薄膜が順次積層された構造を持ち、X線を反射する多層膜のパターンが、広い範囲で、微細に、かつ、欠陥なく設けられている光学素子を提供すること。【構成】基板1上に、屈折率の異なる2種類の物質の薄膜が順次積層された、X線を反射する多層膜2のパターンを有する光学素子であって、基板と多層膜との間に、中間膜4を配置した光学素子。中間膜4は、多層膜を構成する各物質のエッチング速度の平均値よりも、エッチング速度が遅い材質からなることが好ましい。
請求項（抜粋）：
基板上に、屈折率の異なる少なくとも2種類の物質の薄膜が順次積層された、X線を反射する多層膜のパターンを有する光学素子において、上記基板と上記多層膜との間に、中間膜が配置されたことを特徴とする光学素子。
IPC (5件)：
G02B 5/18
, G03B 27/32
, G03F 1/16
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
