光学式変位測定装置及びその測定方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西川惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-256640
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071310
出願日： 2000年08月28日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
要約：

【要約】【課題】発光素子の光量を短時間で補正することのできる光電式変位測定装置及びその測定方法を提供することにある。【解決手段】発光素子1の放射光を投光レンズ2に通すことにより得たビーム光が被測定物体Bに照射され、被測定物体Bで反射された拡散反射光の一部を受光レンズ3で集光することにより、CCD素子4の受光面にスポット光を照射させる。CCD素子4の受光面には複数の受光セルが一定のピッチで配列されており、変位検出部5aは、各受光セルの出力からスポット光の中心位置を検出し、中心位置の変位から被測定物体の変位を求める。また、何れかの受光セルの出力が飽和した場合、ピーク値推定部5bは各受光セルの出力を配列順に並べた出力波形から出力のピーク値を推定し、推定したピーク値が受光セルの出力範囲内となるよう光量制御部5cが発光素子1の光量を制御する。

請求項（抜粋）：

被測定物体に光ビームを照射する投光部と、被測定物体からの反射光がスポット光として照射される受光面に、受光量に応じた大きさの出力信号をそれぞれ発生する複数の光電変換素子が配列されて構成される受光部と、各光電変換素子の出力信号からスポット光の中心位置を検出し、中心位置の変位に基づいて被測定物体の基準位置からの変位を求める変位検出部とを備え、上記各光電変換素子は、被測定物体の変位によりスポット光の位置が変化する方向に沿って配列されており、何れかの光電変換素子の出力が飽和した場合に各光電変換素子の出力から出力のピーク値を推定するピーク値推定部と、ピーク値推定部の推定したピーク値が光電変換素子の出力範囲内となるよう投光部の光量を制御する光量制御部とを設けて成ることを特徴とする光学式変位測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 , G01C 3/06

FI (2件)：

G01B 11/00 B , G01C 3/06 A

Fターム (25件)：

2F065AA09 , 2F065AA17 , 2F065DD06 , 2F065EE00 , 2F065FF44 , 2F065GG06 , 2F065HH04 , 2F065JJ02 , 2F065JJ25 , 2F065NN02 , 2F065QQ03 , 2F065QQ06 , 2F065QQ08 , 2F065QQ25 , 2F065QQ29 , 2F065RR06 , 2F112AA08 , 2F112BA05 , 2F112BA06 , 2F112CA12 , 2F112CA13 , 2F112EA09 , 2F112FA03 , 2F112FA45 , 2F112FA50

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-015103
レーザ変位計
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-293732 出願人：日立造船株式会社
測距装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-101168 出願人：オリンパス光学工業株式会社

全件表示

前のページに戻る