特許
J-GLOBAL ID：200903014520938970

低摩擦係数の複合硬質皮膜の形成法

発明者：
井手 幸夫

井手 幸夫 について


出願人/特許権者：
山口県

山口県 について


代理人 (1件)： 村田 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-314507
公開番号（公開出願番号）：特開2000-144378
出願日： 1998年11月05日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：
【要約】【課題】摺動部を有する硬質な製品表面の摩擦係数を非常に小さくし、省エネルギー効果を飛躍的に向上できる、複合硬質皮膜を提供する。【解決手段】硬質皮膜をプラズマを用いるPVD法により基板上に形成させる工程において、その後半〜終了付近工程で炭化水素ガス(例えばアセチレンガス)を供給する。製品は、表面皮膜がアモルファスカーボン含有の低摩擦係数の硬質皮膜で複層されたものとなる。
請求項（抜粋）：
硬質皮膜をプラズマを用いるPVD法により基板上に形成させる工程において、その後半〜終了付近工程で炭化水素ガスを供給することを特徴とする低摩擦係数の複合硬質皮膜の形成法。
IPC (5件)：
C23C 14/06 ,  B23P 15/28 ,  C23C 14/34 ,  C23C 16/26 ,  C23C 28/04
FI (7件)：
C23C 14/06 M ,  C23C 14/06 F ,  C23C 14/06 K ,  B23P 15/28 A ,  C23C 14/34 A ,  C23C 16/26 Z ,  C23C 28/04
Fターム (38件)：
4K029AA02 ,  4K029BA03 ,  4K029BA07 ,  4K029BA34 ,  4K029BA50 ,  4K029BA55 ,  4K029BA58 ,  4K029BB02 ,  4K029BB10 ,  4K029BC02 ,  4K029BD04 ,  4K029BD05 ,  4K029CA06 ,  4K029DC03 ,  4K029DC06 ,  4K029DC39 ,  4K029EA04 ,  4K030AA09 ,  4K030BA02 ,  4K030BA06 ,  4K030BA27 ,  4K030BA36 ,  4K030BA38 ,  4K030BA42 ,  4K030BB05 ,  4K030BB12 ,  4K030CA01 ,  4K030CA12 ,  4K030FA01 ,  4K030HA13 ,  4K030LA21 ,  4K030LA23 ,  4K044AB10 ,  4K044BA18 ,  4K044BB03 ,  4K044BC01 ,  4K044CA13 ,  4K044CA14
引用特許：
審査官引用 (6件)
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