熱式流量センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-172140
公開番号（公開出願番号）：特開2001-349759
出願日： 2000年06月08日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：

【要約】【課題】例えば自動車のエンジン制御システムに用いられる空気流量センサ等の熱式流量センサの出力感度を向上させる。【解決手段】シリコン基板の一部をエッチングにより取り除くことによりダイヤフラムを形成し、前記ダイヤフラム上に発熱抵抗体を形成した流量検出素子を、前記ダイヤフラム表面側が被測定流体に晒され、ダイヤフラム裏面側の空洞部には被測定流体が流れにくい構造となるように流量検出素子支持部材に組み込むと共に、前記発熱抵抗体の温度を被測定流体の温度より一定温度高くなるよう制御し、発熱抵抗体の加熱電流に相当する電気信号を出力する定温度制御回路を備えた熱式流量センサにおいて、前記発熱抵抗体の幅を前記ダイヤフラムの幅に対して0.4〜0.6、且つ前記発熱抵抗体の長手方向長さを前記ダイヤフラムの長手方向長さに対して0.4〜0.6に規定した。

請求項（抜粋）：

シリコン基板と、前記シリコン基板に設けられ、裏面側に空洞部を形成されたダイヤフラムと、前記ダイヤフラム上に設けられ、発熱抵抗体を有する流量検出素子であって、前記発熱抵抗体の加熱電流に相当する電気信号を出力する流量検出素子と、前記流量検出素子を、前記ダイヤフラムの表面側を被測定流体に晒すとともに、該ダイヤフラムの裏面側の前記空洞部には被測定流体が流れにくくなるように、前記ダイヤフラム上に支持する支持部材と、前記発熱抵抗体の温度を被測定流体の温度より一定温度高くなるように制御する制御部と、を備え、前記発熱抵抗体の幅を前記ダイヤフラムの幅に対して0.4から0.6とし、且つ前記発熱抵抗体の長手方向長さを前記ダイヤフラムの長手方向長さに対して0.4から0.6とすることを特徴とする熱式流量センサ。

Fターム (3件)：

2F035AA02 , 2F035EA04 , 2F035EA08

引用特許：

審査官引用 (4件)

感熱式流量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-307138 出願人：三菱電機株式会社
流量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-151119 出願人：三菱電機株式会社
感熱式流量計
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-307269 出願人：株式会社リコー, リコー精器株式会社, リコーエレメックス株式会社

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