特許
J-GLOBAL ID：200903097535259649

角速度センサ

発明者：
岩城 隆雄

岩城 隆雄 について

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加納 一彦

加納 一彦 について

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磯貝 俊樹

磯貝 俊樹 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-327504
公開番号（公開出願番号）：特開2001-304872
出願日： 2000年10月26日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：
【要約】【課題】 梁部により変位可能に支持された重り部を有する振動型の角速度センサにおいて、加工誤差による重り部の駆動振動の検出方向へのもれ(これを不要振動と呼ぶこととする)を無くすことにより、角速度出力値の誤差を低減する。【解決手段】 駆動方向x以外の方向へ重り部3が駆動振動するのを抑制するために、重り部3に対して検出方向yへ静電気力を印加する不要振動抑制手段として、重り部3側と基部2側に櫛歯状の不要振動抑制用電極7、7’、8、8’を形成する。不要振動抑制用可動電極7、7’と不要振動抑制用固定電極8、8’との間に、所定の直流若しくは交流電圧を印加して、静電気力を発生させることにより、両不要振動抑制用電極7、8、7’、8’が互いに引き合うようにする。
請求項（抜粋）：
基部(2)と、この基部に梁部(4、4a、4b)を介して連結された重り部(3)とを備え、前記梁部は、検出しようとする角速度軸(z)に垂直な水平面内にて互いに直交する第1の方向(x)及び第2の方向(y)へ前記重り部を変位可能なように支持しており、前記重り部を前記第1の方向へ駆動振動させつつ前記角速度軸回りに角速度が印加されたときに発生する前記重り部の前記第2の方向への振動に基づいて、前記角速度を検出するようにした角速度センサにおいて、前記第1の方向以外の方向へ前記重り部が駆動振動するのを抑制するために、前記重り部に対して前記第2の方向へ外力を印加する不要振動抑制手段(7、8、7’、8’)を備えていることを特徴とする角速度センサ。
IPC (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84
FI (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 Z
Fターム (16件)：
2F105BB03 ,  2F105BB09 ,  2F105BB15 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD07 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA36 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112FA02
引用特許：
審査官引用 (6件)
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