特許

J-GLOBAL ID：200903014675086555

清浄乾燥気体供給システム用エアフィルタ及び清浄乾燥気体供給システム

発明者： 小原 貴宏 ,  新沼 仁
出願人/特許権者： 日本無機株式会社
代理人 (3件)： 清水 善廣 ,  阿部 伸一 ,  辻田 幸史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-382134
公開番号（公開出願番号）：特開2006-187686
出願日： 2004年12月28日
公開日（公表日）： 2006年07月20日
要約：

【課題】 本発明は高温度のベーキング処理を行うことが可能であり、使用開始前の装置の立ち上げ時間を短縮することができ、高温度のベーキング処理によっても、捕集効率及び圧力損失の劣化の生じない清浄乾燥気体供給システム用エアフィルタを提供することを目的とする。【解決手段】 本発明の清浄乾燥気体供給システム用エアフィルタは、濾材及びシール材からなる主構成材料と、ガスケット、枠材、スペーサからなる構成材料の少なくとも一つを組み合わせてなるエアフィルタであって、前記シール材が無機酸化物からなり、前記エアフィルタ又はその構成材料をベーキング処理して、前記エアフィルタに露点温度が-100°Cの乾燥気体を通過させ、前記エアフィルタを通過した後の乾燥気体の露点温度が-100°C以下に到達するまでに要する時間を15時間以下としたことを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

濾材及びシール材からなる主構成材料と、ガスケット、枠材、スペーサからなる構成材料の少なくとも一つを組み合わせてなるエアフィルタであって、前記シール材が無機酸化物からなり、前記エアフィルタ又はその構成材料をベーキング処理して、前記エアフィルタに露点温度が-100°Cの乾燥気体を通過させ、前記エアフィルタを通過した後の乾燥気体の露点温度が-100°C以下に到達するまでに要する時間を15時間以下としたことを特徴とする清浄乾燥気体供給システム用エアフィルタ。

IPC (1件)：

B01D 46/52

FI (1件)：

B01D46/52 A

Fターム (9件)：

4D058JA13 ,  4D058JB05 ,  4D058JB26 ,  4D058KA11 ,  4D058KA27 ,  4D058KC62 ,  4D058LA02 ,  4D058MA41 ,  4D058SA20

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 超低露点空気発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-171036   出願人：高砂熱学工業株式会社
• 清浄空気供給システム及びその運転方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-194955   出願人：高砂熱学工業株式会社, 大見忠弘

審査官引用 (3件)

• ガス状不純物処理システム及び粒子除去フィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-305991   出願人：高砂熱学工業株式会社
• 清浄空気供給システム及びその運転方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-194955   出願人：高砂熱学工業株式会社, 大見忠弘
• 清浄空気製造方法及び供給システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-216649   出願人：高砂熱学工業株式会社