特許
J-GLOBAL ID：200903014712033009
III族窒化物結晶成長方法およびIII族窒化物結晶成長装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
植本 雅治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-119442
公開番号（公開出願番号）：特開2003-313098
出願日： 2002年04月22日
公開日（公表日）： 2003年11月06日
要約：
【要約】【課題】 混合融液中のIII族金属とアルカリ金属との量比が変動することを防止し、高い結晶品質のIII族窒化物結晶を成長させる。【解決手段】 III族窒化物結晶111を結晶成長させるときに、混合融液103から蒸発するアルカリ金属(例えば、Na)の量を補うためのアルカリ金属(例えば、Na)を、容器109内から供給管107を通して反応容器101内に供給する。
請求項（抜粋）：
反応容器内で、アルカリ金属と少なくともIII族金属を含む物質とが混合融液を形成し、該混合融液と少なくとも窒素を含む物質とから、III族金属と窒素とから構成されるIII族窒化物を結晶成長させるIII族窒化物結晶成長方法であって、アルカリ金属を反応容器の外部から導入することを特徴とするIII族窒化物結晶成長方法。
Fターム (12件)：
4G077AA02
, 4G077BE15
, 4G077CC04
, 4G077CC10
, 4G077EA02
, 4G077EA03
, 4G077EC08
, 4G077EG01
, 4G077EH02
, 4G077EH10
, 4G077HA02
, 4G077HA12
