特許
J-GLOBAL ID：200903051067080067

結晶成長方法および結晶成長装置およびIII族窒化物結晶

発明者：
皿山 正二

皿山 正二 について

, 
岩田 浩和

岩田 浩和 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 植本 雅治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-237195
公開番号（公開出願番号）：特開2001-064098
出願日： 1999年08月24日
公開日（公表日）： 2001年03月13日
要約：
【要約】【課題】 工程を複雑化させることなく、また、高価な反応容器を用いることなく、かつ結晶の大きさが小さくなることなく、実用的な大きさのIII族窒化物結晶を提供する。【解決手段】 本発明の結晶成長装置は、反応容器101内で、少なくともIII族金属を含む融液102と、フラックスと、窒素原料とから、III族窒化物結晶を成長させるものであって、III族窒化物の種結晶103を保持する種結晶保持手段104と、フラックス蒸気圧を制御可能にフラックスを供給するフラックス供給手段(106,108,110)と、窒素圧力を制御可能に窒素原料を供給する窒素供給手段(111,112)とを具備しており、種結晶保持手段104を移動させることで、種結晶103と融液102と窒素原料とが接することができる領域を移動可能となっている。
請求項（抜粋）：
反応容器内で、少なくともIII族金属を含む融液とフラックスと窒素原料とが接する領域から、種結晶を用いてIII族窒化物結晶を成長させることを特徴とする結晶成長方法。
IPC (3件)：
C30B 29/38 ,  C30B 9/00 ,  H01L 21/208
FI (3件)：
C30B 29/38 D ,  C30B 9/00 ,  H01L 21/208 Z
Fターム (17件)：
4G077AA02 ,  4G077BE15 ,  4G077CC04 ,  4G077CC06 ,  4G077EA08 ,  4G077ED01 ,  4G077EG12 ,  5F053AA12 ,  5F053BB04 ,  5F053BB60 ,  5F053DD20 ,  5F053FF04 ,  5F053GG01 ,  5F053HH04 ,  5F053LL02 ,  5F053RR04 ,  5F053RR13
引用特許：
審査官引用 (6件)
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