特許
J-GLOBAL ID:200903014749818200

金属材料の転移方法及びその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 清水 善▲廣▼ (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-049324
公開番号(公開出願番号):特開2000-248353
出願日: 1999年02月26日
公開日(公表日): 2000年09月12日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】高融点の材料を噴出させることができる金属材料の転移方法及びその装置を提供すること。【解決手段】金属材料を線材にし、この線材の端部を放電によって溶融させ、形成された溶融球をガス流で飛翔させるものである。本実施の形態によれば、線材の端部で放電して溶融球を形成し、この溶融球をガス流で飛翔させるために、高温の溶融球をノズル等の装置に接触させることなく形成でき、またガス流によって溶融球周辺のノズル等の装置を冷却することができる。従って、本実施の形態によれば、高融点の材料を溶融し転移できる。
請求項(抜粋):
金属材料を線材にし、該線材の端部を放電して溶融させ、該溶融によって形成された溶融球をガス流で飛翔させることを特徴とする金属材料の転移方法。
IPC (3件):
C23C 4/12 ,  H01L 21/60 ,  B22F 9/08
FI (3件):
C23C 4/12 ,  B22F 9/08 Z ,  H01L 21/92 604 A
Fターム (14件):
4K017AA02 ,  4K017CA01 ,  4K017DA09 ,  4K017EF01 ,  4K017EF08 ,  4K017FA03 ,  4K017FB02 ,  4K031AA06 ,  4K031AB02 ,  4K031CA02 ,  4K031CB21 ,  4K031CB31 ,  4K031DA03 ,  4K031EA06
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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