新規な感光性樹脂組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：高木千嘉 , 結田純次 , 三輪昭次 , 竹林則幸
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-514897
公開番号（公開出願番号）：特表2008-546027
出願日： 2006年06月02日
公開日（公表日）： 2008年12月18日
要約：

(d)少なくとも1つのポリベンゾオキサゾール前駆体ポリマー、(e)構造VI:V1-Y-V2、ここで、YはS、O、NR2、(HOCH)p、及び式(A)から選択され;R1は、それぞれ、H、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アルコキシ基又はハロゲンから選択され、R2は、それぞれ、H、SH、CH3、C2H5、及びチオール基を含有する直鎖状又は分枝鎖状C1-C4アルキル基から選択され;pは1から4までの整数であり、そしてV1及びV2は、式(B)及び式(C)から成るグループから独立に選択され;ここで、mは独立に0から4までの整数であり、但し、Yが式(D)の場合はm=0のみであり;nは1から5までの整数であり;そしてR1はそれぞれ上記のように定義される;を有する少なくとも1つの化合物;及び(f)少なくとも1つの溶媒;を含む感光性樹脂組成物であって、存在する構造VIの化合物の量は、上記組成物が基板上に塗布され、塗布された基板が引き続き基板上に画像を形成するように処理された場合、残留物の形成を阻害するのに十分な量であり、但し、上記ポリベンゾオキサゾール前駆体ポリマーが、ポリマー中に光活性部分を含まないポリベンゾオキサゾール前駆体ポリマーのみから成る場合は、(d)少なくとも1つの光活性化合物も、又、組成物中に存在する;感光性樹脂組成物が開示される。【化1】

請求項（抜粋）：

(a)少なくとも1つのポリベンゾオキサゾール前駆体ポリマー; (b)構造VI: V1-Y-V2 VI [ここで、YはS、O、NR2、(HOCH)p、及び

IPC (4件)：

G03F 7/023 , G03F 7/004 , G03F 7/40 , G03F 7/11

FI (4件)：

G03F7/023 501 , G03F7/004 501 , G03F7/40 501 , G03F7/11 503

Fターム (23件)：

2H025AA10 , 2H025AA14 , 2H025AA20 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025BE02 , 2H025CB25 , 2H025CC06 , 2H025CC20 , 2H025DA35 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H096AA25 , 2H096BA10 , 2H096CA05 , 2H096DA04 , 2H096EA02 , 2H096FA01 , 2H096GA08 , 2H096HA01

引用特許：

出願人引用 (3件)

ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-016730 出願人：東レ株式会社
新規な感光性樹脂組成物
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-535640 出願人：フジフィルム・エレクトロニック・マテリアルズ・ユーエスエイ・インコーポレイテッド
新規な感光性樹脂組成物
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-532311 出願人：フジフィルム・エレクトロニック・マテリアルズ・ユーエスエイ・インコーポレイテッド

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