新規な感光性樹脂組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：高木千嘉 , 結田純次 , 三輪昭次
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-535640
公開番号（公開出願番号）：特表2007-509371
出願日： 2004年10月15日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：

1つ又はそれ以上のポリベンゾオキサゾール前駆体ポリマー、2〜約9の芳香族ヒドロキシル基を含む化合物と5-ナフトキノンジアジドスルホニル化合物及び4-ナフトキノンジアジドスルホニル化合物との縮合生成物であるジアゾナフトキノン光活性化合物、及び少なくとも1つの溶媒を含んでなるポジに働く感光性樹脂組成物、並びに、基材上にレリーフパターンを形成し、それによってコーティングされた基材を形成するためのこうした組成物の使用。

請求項（抜粋）：

(a)構造式(II)又は(IV):

IPC (6件)：

G03F 7/023 , G03F 7/022 , G03F 7/075 , G03F 7/38 , G03F 7/40 , H01L 21/027

FI (6件)：

G03F7/023 501 , G03F7/022 601 , G03F7/075 501 , G03F7/38 501 , G03F7/40 501 , H01L21/30 502R

Fターム (23件)：

2H025AA10 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025BE02 , 2H025CC03 , 2H025CC06 , 2H025FA01 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H096AA25 , 2H096AA27 , 2H096BA10 , 2H096BA20 , 2H096DA01 , 2H096EA02 , 2H096FA01 , 2H096GA08 , 2H096JA02 , 2H096JA03 , 2H096JA04

引用特許：

出願人引用 (5件)

ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-236711 出願人：住友ベークライト株式会社
ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-017832 出願人：クラリアントジャパン株式会社
光活性化合物
公報種別：公表公報出願番号：特願平8-524474 出願人：ヘキスト・セラニーズ・コーポレイション

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審査官引用 (5件)

ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-236711 出願人：住友ベークライト株式会社
ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-017832 出願人：クラリアントジャパン株式会社
光活性化合物
公報種別：公表公報出願番号：特願平8-524474 出願人：ヘキスト・セラニーズ・コーポレイション

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