特許
J-GLOBAL ID:200903082203952220
ポジ型感光性樹脂組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-016730
公開番号(公開出願番号):特開2005-208465
出願日: 2004年01月26日
公開日(公表日): 2005年08月04日
要約:
【課題】高屈折率を有するアルカリ現像可能なポジ型の感光性樹脂組成物を提供する。 【解決手段】(A)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマー、(B)チオエーテル基、フルオレン基、スルホニル基から選ばれる基を1種以上を有し、かつフェノール性水酸基および/またはチオフェノール基を含有する化合物、(C)エステル化したキノンジアジド化合物、(D)アルミニウム化合物、ケイ素化合物、スズ化合物、チタン化合物、ジルコニウム化合物から少なくとも1種選ばれる粒子径1nmから30nmの無機粒子を含有するポジ型感光性樹脂組成物。【化1】(式中R1は2個以上の炭素原子を有する2価から8価の有機基、R2は、2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基、R3 は水素、または炭素数1から20までの有機基を示す。nは10から100000までの範囲、mは0から2までの整数、p、qは0から4までの整数を示す。)【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(A)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマー、(B)チオエーテル基、フルオレン基、スルホニル基から選ばれる基を1種以上を有し、かつフェノール性水酸基および/またはチオフェノール基を含有する化合物、(C)エステル化したキノンジアジド化合物、(D)アルミニウム化合物、ケイ素化合物、スズ化合物、チタン化合物、ジルコニウム化合物から少なくとも1種選ばれる粒子径1nmから30nmの無機粒子を含有するポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (5件):
G03F7/037
, C08G73/10
, G03F7/004
, G03F7/022
, G03F7/40
FI (5件):
G03F7/037
, C08G73/10
, G03F7/004 501
, G03F7/022
, G03F7/40 501
Fターム (41件):
2H025AB14
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB25
, 2H025CB26
, 2H025CC08
, 2H025CC20
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 2H096AA28
, 2H096BA10
, 2H096BA20
, 2H096EA02
, 2H096GA08
, 2H096HA01
, 2H096JA04
, 4J043PA02
, 4J043QB33
, 4J043RA05
, 4J043SA06
, 4J043SA54
, 4J043SA71
, 4J043TA02
, 4J043TA12
, 4J043TA13
, 4J043TA22
, 4J043UA121
, 4J043UA122
, 4J043UA131
, 4J043UA132
, 4J043UB021
, 4J043UB022
, 4J043UB121
, 4J043UB122
, 4J043UB301
, 4J043UB302
, 4J043ZA51
, 4J043ZA52
, 4J043ZB50
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)