新規な感光性樹脂組成物

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：高木千嘉 , 結田純次 , 三輪昭次
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-532311
公開番号（公開出願番号）：特表2007-508582
出願日： 2004年03月04日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：

(a)少なくとも1つのポリベンゾオキサゾール前駆体ポリマー;(b)構造III〜Vにおいて、[R1、R2、R4、R5、R6およびR7はそれぞれ独立にC1〜C4の線状もしくは分枝状のアルキル基、フェニルもしくはハロゲン化物で置換されたC1〜C4の線状もしくは分枝状のアルキル基、過フッ素化されたC1〜C4の線状もしくは分枝状のアルキル基、C5〜C7のシクロアルキル基、C1〜C4のアルキルもしくはハロゲン化物で置換されたC5〜C7のシクロアルキル基であり、または別に、R1およびR2もしくはR4、R5、およびR6のいずれか2つは一緒になって5〜7員環を形作ってよく;R3はそれぞれ独立にH、C1〜C4の線状もしくは分枝状のアルキル基、フェニルもしくはハロゲン化物で置換されたC1〜C4の線状もしくは分枝状のアルキル基、過フッ素化されたC1〜C4の線状もしくは分枝状のアルキル基、C5〜C7のシクロアルキル基、C1〜C4のアルキルもしくはハロゲン化物で置換されたC5〜C7のシクロアルキル基、置換されていないフェニル基、またはフェニル、アルキルもしくはハロゲン化物で置換されたフェニル基であり;QはHまたはDであり、ただし少なくとも1つのQはDであり;Dは上記に規定したとおりであり;aは1〜5の整数であり;bおよびcは0〜5の整数であるが、ただし(1)構造IIIについて、a=b=1であり、OQがともにR1R2C置換基に対してパラ位で置換されているなら、R1およびR2がともに同時にメチルであることはなく、(2)1≦a+b<6であり;構造Vについて、a=b=c=1であり、すべてのOQがトリフェニルメタン炭素置換基に対してパラ位にあるなら、少なくとも1つのR3はHでない]によって表わされる化合物から選択される少なくとも1つの感光性化合物;(c)少なくとも1つの溶媒;および(d)場合によっては接着促進剤を含むポジ型感光性組成物。本発明者は、この感光性組成物を使用してレリーフパターンを作成しまた電子部品を製造する方法をさらに提供する。【化1】

請求項（抜粋）：

(a)構造IまたはII:

IPC (5件)：

G03F 7/023 , G03F 7/037 , G03F 7/022 , G03F 7/075 , H01L 21/027

FI (5件)：

G03F7/023 501 , G03F7/037 , G03F7/022 601 , G03F7/075 501 , H01L21/30 502R

Fターム (16件)：

2H025AA01 , 2H025AA10 , 2H025AA13 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025BE02 , 2H025CB26 , 2H025CB45 , 2H025CC03 , 2H025CC06 , 2H025FA17 , 2H025FA29

引用特許：

出願人引用 (5件)

ポジ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-177238 出願人：三菱化成株式会社
感光物製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-172351 出願人：富士写真フイルム株式会社
ポジ型フォトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-131210 出願人：富士写真フイルム株式会社, 富士フイルムオーリン株式会社

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審査官引用 (5件)

ポジ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-177238 出願人：三菱化成株式会社
感光物製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-172351 出願人：富士写真フイルム株式会社
ポジ型フォトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-131210 出願人：富士写真フイルム株式会社, 富士フイルムオーリン株式会社

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