レジスト剥離液補充液及びその使用方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：塩出真一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-308287
公開番号（公開出願番号）：特開平8-146622
出願日： 1994年11月16日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【構成】レジスト剥離液中のアルカノールアミン濃度より高濃度のアルカノールアミン、及び極性有機溶剤を主成分とするレジスト剥離液補充液及びその使用方法。アルカノールアミンとしては、一般式化1で表わされるものが用いられる。アルカノールアミン濃度は導電率計又は吸光光度計15により検出され、この検出値に基づいて、補充液が補給される。【化1】【効果】レジスト剥離液に補充した場合に、レジスト剥離液のアルカノールアミン濃度を一定に維持することができる。

請求項（抜粋）：