特許
J-GLOBAL ID：200903014780039660
縦型熱処理装置及び縦型熱処理方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
絹谷 信雄
, 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-195591
公開番号（公開出願番号）：特開2008-227443
出願日： 2007年07月27日
公開日（公表日）： 2008年09月25日
要約：
【課題】ツーボートシステムでありながら地震等の外力によるボート搬送機構上のボートの転倒を簡単な構造で防止することができる縦型熱処理装置及び縦型熱処理方法を提供する。【解決手段】熱処理炉5と、該熱処理炉5の炉口5aを閉塞する蓋体17と、該蓋体17上に保温筒19を介して載置され多数の基板wを多段に保持する基板保持具4と、上記蓋体17を昇降させて基板保持具4を熱処理炉5内に搬入・搬出する昇降機構18と、上記基板保持具4が熱処理炉5内にあるときにもう一つの基板保持具4を基板wの移載のために載置する保持具載置台と、該保持具載置台と上記保温筒19との間で基板保持具4の搬送を行う保持具搬送機構23とを備えた縦型熱処理装置1において、上記保持具搬送機構23に基板保持具4の転倒を規制する転倒規制部材を設けている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
熱処理炉と、該熱処理炉の炉口を閉塞する蓋体と、該蓋体上に保温筒を介して載置され多数の基板を多段に保持する基板保持具と、上記蓋体を昇降させて基板保持具を熱処理炉内に搬入・搬出する昇降機構と、上記基板保持具が熱処理炉内にあるときにもう一つの基板保持具を基板の移載のために載置する保持具載置台と、該保持具載置台と上記保温筒との間で基板保持具の搬送を行う保持具搬送機構とを備えた縦型熱処理装置において、上記保持具搬送機構に基板保持具の転倒を規制する転倒規制部材を設けたことを特徴とする縦型熱処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/31
, H01L 21/22
, H01L 21/677
, H01L 21/683
H01L21/31 E
, H01L21/22 511B
, H01L21/22 511Q
, H01L21/68 A
, H01L21/68 N
5F031CA02
, 5F031FA03
, 5F031GA02
, 5F031GA33
, 5F031GA43
, 5F031HA64
, 5F031HA67
, 5F031MA30
, 5F045AA20
, 5F045AF01
, 5F045BB20
, 5F045DP19
, 5F045DP28
, 5F045DQ05
, 5F045EM01
