特許
J-GLOBAL ID：200903014789714246
熱処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-168156
公開番号（公開出願番号）：特開平8-340039
出願日： 1995年06月09日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：
【要約】【目的】 例えば縦型熱処理装置に被処理ウエハと共にモニタウエハを搬入して熱処理を行い、製品ウエハの処理の状態あるいは装置の状態を監視するにあたってボートウエハ上における被処理ウエハの保持位置の選択の自由度を大きくしながら、かつ信頼性の高い監視を行うこと。【構成】 キャリアC内のウエハ群を1ロットとすると、ボートウエハ23上に例えば4ロット分のロット領域P1〜P4を割り当て、4ロット以下のときあるいは1ロット内のウエハ枚数が少ないときには、設定した溝の番号を中心にロット領域P1〜P4を圧縮できるロット領域変動モードを用意する。一方モニタウエハの移載については、ロット領域間に移載させるモードと溝の番号を指定できるモードを用意し、製品モニタを行う場合には前者のモードを、また装置モニタを行う場合には後者のモードを選択する。
請求項（抜粋）：
複数の被処理基板をロット単位で保持具に並列に保持させ、加熱炉の反応管内に搬入して熱処理を行うと共に、モニタ基板を専用の収納部から移載機により取り出して前記保持具に保持させ、前記被処理基板と共に熱処理を行う熱処理装置において、前記保持具の基板保持領域にバッチ処理毎にロットの基板保持領域であるロット領域を割り当て、このロット領域を基準とした相対位置を指定してモニタ基板を保持させる相対位置指定モードと、前記保持具の基板保持領域の中で何段目の保持位置であるかを指定してモニタ基板を保持させる絶対位置指定モードと、のうちの一方のモードを選択するモニタ基板移載モード選択部と、前記相対位置指定モードが選択されたときにモニタ基板の保持位置がいずれのロット領域に対応する位置であるかを指定する相対位置指定部と、前記絶対位置指定モードが選択されたときにモニタ基板の保持位置が何段目の保持位置であるかを指定する絶対位置指定部と、を備えたことを特徴とする熱処理装置。
IPC (7件)：
H01L 21/68
, B65G 1/00 535
, H01L 21/02
, H01L 21/205
, H01L 21/22 511
, H01L 21/31
, H01L 21/324
H01L 21/68 D
, B65G 1/00 535
, H01L 21/02 Z
, H01L 21/205
, H01L 21/22 511 J
, H01L 21/31 E
, H01L 21/324 Z
