特許
J-GLOBAL ID:200903014799283634
光子検出器及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-073818
公開番号(公開出願番号):特開2005-268243
出願日: 2004年03月16日
公開日(公表日): 2005年09月29日
要約:
【課題】 本願発明は、超微弱光を室温で検出することが可能で、広い受光部面積を有し、容易な製造・集積化が可能な光子検出装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本願発明の上記目的は、少なくとも一方は、透明電極である上下二枚の電極間に金属微粒子を絶縁膜で被覆し、絶縁層を介して二次元的に配置させ、上記金属微粒子に隣接するように絶縁膜で覆われた半導体微粒子を配置した構成とすることによって実現することで達成することができる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光子検出器において、少なくとも一方は透明電極である上下二枚の電極間に絶縁層を介して、絶縁膜で覆われた金属微粒子を二次元的に配置させ、該金属微粒子に隣接するように絶縁膜で覆われた半導体微粒子を配置したことを特徴とする光子検出器。
IPC (3件):
H01L31/10
, G01J1/02
, H01L27/14
FI (3件):
H01L31/10 E
, G01J1/02 B
, H01L27/14 K
Fターム (25件):
2G065AB02
, 2G065AB04
, 2G065BA07
, 2G065BA34
, 2G065DA20
, 2G088EE01
, 2G088GG19
, 2G088GG20
, 2G088JJ05
, 2G088JJ09
, 2G088JJ31
, 2G088JJ37
, 4M118AA01
, 4M118AB10
, 4M118BA05
, 4M118CA09
, 4M118CB13
, 4M118CB14
, 4M118EA01
, 4M118GA10
, 5F049MA15
, 5F049MB01
, 5F049SE04
, 5F049SE05
, 5F049WA05
引用特許:
出願人引用 (5件)
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光検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-038560
出願人:富士ゼロックス株式会社
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光および荷電粒子検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-290932
出願人:株式会社日立製作所
-
光検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-117189
出願人:株式会社日立製作所
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審査官引用 (5件)
-
光および荷電粒子検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-290932
出願人:株式会社日立製作所
-
光検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-117189
出願人:株式会社日立製作所
-
ミリ波・遠赤外光検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-334196
出願人:科学技術振興事業団
-
固体自発光表示装置及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-305857
出願人:科学技術振興事業団, 株式会社日立製作所
-
光検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-038560
出願人:富士ゼロックス株式会社
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引用文献:
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