ポリベンゾオキサゾール前駆体樹脂及びそれを用いた感光性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-030672
公開番号（公開出願番号）：特開2001-220443
出願日： 2000年02月08日
公開日（公表日）： 2001年08月14日
要約：

【要約】【課題】優れた耐熱性及び他の諸特性を損なうことなく、紫外及び可視光領域での高い透過率を示す樹脂組成物により、膜厚が厚くてもi線に対して高感度な感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】ポリベンゾオキサゾール前駆体を塗布、乾燥後に形成されるフィルムの波長365nmでの光透過率が厚さ10μm当たり80%以上であることを特徴とし、好ましい形態としては、該ポリベンゾオキサゾール前駆体が一般式(1)で示されるポリアミドからなり、一般式(1)においてYの10から100モル%が、少なくとも2個以上の炭素原子を有する脂肪族炭化水素からなるポリベンゾオキサゾール前駆体及びそれを用いた感光性樹脂組成物である。

請求項（抜粋）：

ポリベンゾオキサゾール前駆体を塗布、乾燥後に形成されるフィルムの波長365nmでの光透過率が膜厚10μm当たり80%以上であることを特徴とするポリベンゾオキサゾール前駆体。

IPC (3件)：

C08G 73/22 , C08L 79/04 , G03F 7/027 514

FI (3件)：

C08G 73/22 , C08L 79/04 B , G03F 7/027 514

Fターム (84件)：

2H025AA01 , 2H025AA10 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025BJ00 , 2H025CB26 , 2H025CB41 , 2H025CB45 , 2H025FA29 , 4J002CM021 , 4J002EE056 , 4J002EQ016 , 4J002GP03 , 4J043PA05 , 4J043PA15 , 4J043PA19 , 4J043PB02 , 4J043PB03 , 4J043PB04 , 4J043PB22 , 4J043PC015 , 4J043PC016 , 4J043PC115 , 4J043PC116 , 4J043RA06 , 4J043SA06 , 4J043SA42 , 4J043SA43 , 4J043SA71 , 4J043SA72 , 4J043SB03 , 4J043TA12 , 4J043TB03 , 4J043UA041 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA141 , 4J043UA151 , 4J043UA261 , 4J043UA362 , 4J043UA761 , 4J043UA762 , 4J043UB011 , 4J043UB012 , 4J043UB021 , 4J043UB022 , 4J043UB061 , 4J043UB062 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB131 , 4J043UB151 , 4J043UB152 , 4J043UB221 , 4J043UB222 , 4J043UB281 , 4J043UB282 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB311 , 4J043UB401 , 4J043VA011 , 4J043VA012 , 4J043VA021 , 4J043VA022 , 4J043VA031 , 4J043VA041 , 4J043VA042 , 4J043VA051 , 4J043VA052 , 4J043VA061 , 4J043VA062 , 4J043VA081 , 4J043VA082 , 4J043VA092 , 4J043VA102 , 4J043XA16 , 4J043XA19 , 4J043ZB22

引用特許：

審査官引用 (9件)

特公昭42-019270
特公昭44-004119
感光性樹脂組成物の硬化方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-307948 出願人：住友ベークライト株式会社

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