特許
J-GLOBAL ID:200903014885559634
加速度センサおよびそれに用いる振動子
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
牛久 健司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-103857
公開番号(公開出願番号):特開平9-269335
出願日: 1996年03月29日
公開日(公表日): 1997年10月14日
要約:
【要約】【目的】 加えられる加速度の方向および大きさを一つの加速度センサによって検出することを目的とする。【構成】 振動子10は,加えられる加速度の方向に応じて,弾性変形部12と固定部との連結部分において二方向に,弾性変形部12と錘部11との連結部分において一方向に変形する。弾性変形部12の変形箇所には,歪み検出素子14a ,14b および14c が形成されている。弾性変形部12の変形によって歪み検出素子14a ,14b および14c の抵抗値が変化する。弾性変形部12が,振動子10に加えられた加速度の3次元の方向成分とそれらの大きさに応じて変形するので,歪み検出素子14a ,14b および14c の抵抗値の変化に基づいて,振動子10に加えられる加速度の方向および大きさが検出される。
請求項(抜粋):
加えられる加速度の方向および大きさに応じて変形する一つの変形部を有する加速度応答子,上記加速度応答子の上記変形部に設けられ,少なくとも二方向の変形を検出して検出信号を出力する少なくとも二つの検出素子,および上記検出素子から出力される検出信号に基づいて,上記加速度応答子に加えられる加速度の少なくとも2次元の方向および大きさを表す出力信号を生成する処理手段,を備えた加速度センサ。
IPC (2件):
FI (2件):
G01P 15/12
, G01P 13/02 Z
引用特許:
審査官引用 (3件)
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半導体加速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-079678
出願人:日本電気株式会社, 日本電気ロボットエンジニアリング株式会社
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加速度センサーとこれを備えた計数器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-067723
出願人:松下電工株式会社
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加速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-101466
出願人:日本電気株式会社
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