特許
J-GLOBAL ID：200903014904087080
干渉計測方法および干渉計測装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-149533
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330409
出願日： 2000年05月22日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：
【要約】【課題】 フリンジスキャン干渉法により被検面の形状情報を得る干渉計測方法、および干渉計測装置に関し、フリンジスキャン干渉法を応用することによって、被検光光路および参照光光路の少なくとも一部を経由した所定のノイズ光が前記被検光または前記参照光に干渉することにより生じるコヒーレントノイズ成分の影響を確実に低減させることを目的とする。【解決手段】 前記被検光光路の光学的距離と、前記参照光光路の光学的距離との双方をそれぞれ所定のパターンで同時に変化させることによって、干渉信号のうち必要な信号成分の強度変化周期とコヒーレントノイズ成分の強度変化周期とに差異を設け、前記変調走査手順が行われているときに前記受光素子から出力される干渉信号に基づき、所定の状態における前記被検光と前記参照光との位相差を前記被検面の形状情報として求める。
請求項（抜粋）：
光源から出射された光を被検面と参照面との双方に導くと共に、その光が前記被検面で反射することにより生じた被検光と、その光が前記参照面で反射することにより生じた参照光とを干渉させる干渉光学系と、前記被検光と前記参照光とが成す干渉光の光路に配置され、入射光の強度に応じた干渉信号を出力する受光素子とを備えた干渉計による干渉計測方法であって、前記被検光と前記参照光との位相差を変化させる走査の際に、前記被検光光路の光学的距離と、前記参照光光路の光学的距離との双方をそれぞれ所定のパターンで同時に変化させることによって、前記干渉信号のうち、前記参照光と前記被検光との間の位相差に応じて変化する必要な信号成分の強度変化周期と、前記被検光光路および前記参照光光路の少なくとも一部を経由した所定のノイズ光が前記被検光または前記参照光に干渉することにより生じるコヒーレントノイズ成分の強度変化周期とに、差異を設ける変調走査手順と、前記変調走査手順が行われているときに前記受光素子から出力される干渉信号に基づき、所定の状態における前記被検光と前記参照光との位相差を前記被検面の形状情報として求める算出手順とを有することを特徴とする干渉計測方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (32件)：
2F064AA09
, 2F064AA15
, 2F064CC01
, 2F064EE05
, 2F064FF01
, 2F064GG12
, 2F064GG22
, 2F064GG70
, 2F064HH08
, 2F064JJ01
, 2F064KK01
, 2F065AA02
, 2F065AA04
, 2F065AA06
, 2F065AA54
, 2F065DD03
, 2F065DD04
, 2F065EE06
, 2F065FF51
, 2F065GG01
, 2F065HH03
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL09
, 2F065LL46
, 2F065LL57
, 2F065MM02
, 2F065NN08
, 2F065QQ21
, 2F065QQ29
, 2F065QQ32
, 2F065QQ34
