特許
J-GLOBAL ID：200903014919270523

ガラス、光学部材ならびに電気泳動装置用部材およびその製造方法

発明者：
駒井 正嗣

駒井 正嗣 について

, 
寺尾 公一

寺尾 公一 について

, 
楠 一彦

楠 一彦 について

, 
垣本 勝己

垣本 勝己 について


出願人/特許権者：
住友金属工業株式会社

住友金属工業株式会社 について


代理人 (1件)： 深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-306391
公開番号（公開出願番号）：特開2002-116181
出願日： 2000年10月05日
公開日（公表日）： 2002年04月19日
要約：
【要約】【課題】 半導体製造に一般的に用いられるプラズマエッチングにより高いレートでエッチングすることができ、しかも波長200nm〜400nmの紫外光の透過率が良好であるガラスを提供する。【解決手段】 SiO2を主成分とし、PおよびBの少なくとも1種類を含有し、PおよびBの含有量の合計が5質量%〜20質量%であり、OHの濃度が10ppm以上であり、かつClの濃度が1ppm以下であるガラス。
請求項（抜粋）：
SiO2を主成分とし、PおよびBの少なくとも1種類を含有し、前記Pおよび前記Bの含有量の合計が5質量%〜20質量%であり、OHの濃度が10ppm以上であるガラス。
IPC (3件)：
G01N 27/447 ,  C03C 3/089 ,  C03C 3/097
FI (4件)：
C03C 3/089 ,  C03C 3/097 ,  G01N 27/26 315 K ,  G01N 27/26 331 E
Fターム (61件)：
4G062AA04 ,  4G062BB01 ,  4G062BB05 ,  4G062DA07 ,  4G062DA08 ,  4G062DB01 ,  4G062DC03 ,  4G062DC04 ,  4G062DD03 ,  4G062DD04 ,  4G062DE01 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA10 ,  4G062EB01 ,  4G062EC01 ,  4G062ED01 ,  4G062EE01 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062FA01 ,  4G062FA10 ,  4G062FB01 ,  4G062FC01 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM02 ,  4G062MM21 ,  4G062NN40
引用特許：
出願人引用 (8件)
全件表示
審査官引用 (8件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM