ガラス、光学部材ならびに電気泳動装置用部材およびその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-306391
公開番号（公開出願番号）：特開2002-116181
出願日： 2000年10月05日
公開日（公表日）： 2002年04月19日
要約：

【要約】【課題】半導体製造に一般的に用いられるプラズマエッチングにより高いレートでエッチングすることができ、しかも波長200nm〜400nmの紫外光の透過率が良好であるガラスを提供する。【解決手段】 SiO2を主成分とし、PおよびBの少なくとも1種類を含有し、PおよびBの含有量の合計が5質量%〜20質量%であり、OHの濃度が10ppm以上であり、かつClの濃度が1ppm以下であるガラス。

請求項（抜粋）：

SiO2を主成分とし、PおよびBの少なくとも1種類を含有し、前記Pおよび前記Bの含有量の合計が5質量%〜20質量%であり、OHの濃度が10ppm以上であるガラス。

IPC (3件)：

G01N 27/447 , C03C 3/089 , C03C 3/097

FI (4件)：

C03C 3/089 , C03C 3/097 , G01N 27/26 315 K , G01N 27/26 331 E

Fターム (61件)：

4G062AA04 , 4G062BB01 , 4G062BB05 , 4G062DA07 , 4G062DA08 , 4G062DB01 , 4G062DC03 , 4G062DC04 , 4G062DD03 , 4G062DD04 , 4G062DE01 , 4G062DF01 , 4G062EA01 , 4G062EA10 , 4G062EB01 , 4G062EC01 , 4G062ED01 , 4G062EE01 , 4G062EF01 , 4G062EG01 , 4G062FA01 , 4G062FA10 , 4G062FB01 , 4G062FC01 , 4G062FD01 , 4G062FE01 , 4G062FF01 , 4G062FG01 , 4G062FH01 , 4G062FJ01 , 4G062FK01 , 4G062FL01 , 4G062GA01 , 4G062GA10 , 4G062GB01 , 4G062GC01 , 4G062GD01 , 4G062GE01 , 4G062HH01 , 4G062HH03 , 4G062HH05 , 4G062HH07 , 4G062HH09 , 4G062HH11 , 4G062HH13 , 4G062HH15 , 4G062HH17 , 4G062HH20 , 4G062JJ01 , 4G062JJ03 , 4G062JJ05 , 4G062JJ07 , 4G062JJ10 , 4G062KK01 , 4G062KK03 , 4G062KK05 , 4G062KK07 , 4G062KK10 , 4G062MM02 , 4G062MM21 , 4G062NN40

引用特許：

審査官引用 (8件)

ホウ酸低含有ホウケイ酸ガラス及びその応用
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-243850 出願人：イエナーグラスヴェルクゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
ソーラリゼーションのない光学ガラス
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-192073 出願人：株式会社オハラ
紫外光透過用合成石英ガラスおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-226302 出願人：住友金属工業株式会社

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