特許
J-GLOBAL ID：200903052300146789
光学用合成石英ガラス及びその製造方法並びにその用途
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-266878
公開番号（公開出願番号）：特開平8-133753
出願日： 1994年10月31日
公開日（公表日）： 1996年05月28日
要約：
【要約】【構成】OH濃度が10ppm〜60ppm、Cl濃度が5ppm以下、実質的に金属不純物を含まず、170nmでの透過率(厚さ10mm)が80%〜85%であり、かつ、3方向に脈理がないことを特徴とする光学用合成石英ガラスおよび、シリカ多孔質体を透明ガラス化温度以下の温度領域で一定時間保持し、加熱処理後の密度を所定の範囲にする光学用合成石英ガラスの製造方法並びにその光学用合成石英ガラスの用途。【効果】本発明の光学用合成石英ガラスは、真空紫外領域での透過率を高く、真空紫外領域ランプ等に使用できるガラスチューブや真空紫外領域で使用される窓板,レンズ,プリズム等の光学部材を製造することが出来る。また、本発明の製造方法によれば、Cl元素,金属不純物,3方向に脈理を含むことなく、OH濃度を制御することが可能であり、上記の真空紫外領域での透過率を高い光学用合成石英ガラスを得られる。
請求項（抜粋）：
OH濃度が10ppm〜60ppm、Cl濃度が5ppm以下、実質的に金属不純物を含まず、170nmでの透過率(厚さ10mm)が80%〜85%であり、かつ、3方向に脈理がないことを特徴とする光学用合成石英ガラス。
IPC (3件)：
C03B 8/04
, C03B 20/00
, C03C 3/06
