フッ酸の供給方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田数彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-194015
公開番号（公開出願番号）：特開2003-012305
出願日： 2001年06月27日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：

【要約】【課題】ガラス基板にエッチング等を施すフッ酸処理工程に所定濃度のフッ酸を供給するフッ酸の供給方法であって、フッ酸処理工程から排出される廃液から簡便にフッ酸を回収でき且つ品質を損なうことなくこれを再利用できるフッ酸の供給方法を提供する。【解決手段】フッ酸の供給方法は、工程(A):高濃度フッ酸を純水で希釈して所定濃度のフッ酸を調製すると共に、調製されたフッ酸をフッ酸処理工程に供給する調製工程、工程(B):フッ酸処理工程から排出された廃液からスラッジを分離し、フッ酸を回収する固液分離工程、工程(C):工程(B)で回収したフッ酸から不純物を略除去すると共に、不純物が略除去されたフッ酸を工程(A)に返流する精製工程を含み、そして、工程(A)において調製されたフッ酸中の硅フッ酸の濃度を検出し、工程(C)のフッ酸の返流量を調整する。

請求項（抜粋）：

フッ酸処理工程に所定濃度のフッ酸を供給するフッ酸の供給方法であって、次の3つの工程、すなわち、工程(A):原料としての高濃度フッ酸を純水で希釈して所定濃度のフッ酸を調製すると共に、調製されたフッ酸をフッ酸処理工程に供給する調製工程、工程(B):フッ酸処理工程から排出された廃液からスラッジを分離し、フッ酸を回収する固液分離工程、工程(C):工程(B)で回収したフッ酸から不純物を略除去すると共に、不純物が略除去されたフッ酸を工程(A)に返流する精製工程を含み、工程(A)において、調製されたフッ酸中の硅フッ酸の濃度を検出し、工程(C)のフッ酸の返流量を調整することを特徴とするフッ酸の供給方法。

IPC (2件)：

C01B 7/19 , C02F 11/00 ZAB

FI (2件)：

C01B 7/19 C , C02F 11/00 ZAB C

Fターム (8件)：

4D059AA18 , 4D059BD00 , 4D059BE38 , 4D059BF13 , 4D059BJ08 , 4D059CC10 , 4D059DA01 , 4D059EB01

引用特許：

審査官引用 (4件)

ガラス洗浄用溶液の再生方法と再生装置、および珪酸塩ガラスの洗浄方法と洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-041583 出願人：松下電子工業株式会社, 株式会社化研
酸またはアルカリ原液の希釈方法および希釈装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-356147 出願人：三菱化学エンジニアリング株式会社
ガラス材料の回収方法および回収システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-148404 出願人：学校法人芝浦工業大学

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