ガラス材料の回収方法および回収システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木俊一郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-148404
公開番号（公開出願番号）：特開2000-335915
出願日： 1999年05月27日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
要約：

【要約】【課題】低消費エネルギーで、金属、金属酸化物などの不純物を含まないガラス材料を低コストで回収する方法とそのシステムとを提供すること。反応時に発生する熱を暖房設備などの熱機関に積極的に利用すること。半導体工場などで、酸化シリコン薄膜のエッチング時に多量に使用され、廃棄されるフッ化水素酸水溶液を含む廃液の有効利用を図ること。【解決手段】本発明に係るガラス材料の回収方法は、酸化シリコンを主成分とするガラス材料を、フッ素イオンを含む溶液に溶解し、飽和状態、過飽和状態を経て、ガラス材料が溶解した溶液から酸化シリコンを析出せしめることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

酸化シリコンを主成分とするガラス材料を、フッ素イオンを含む溶液に溶解し、飽和状態、過飽和状態を経て、ガラス材料が溶解した溶液から酸化シリコンを析出せしめることを特徴とするガラス材料の回収方法。

IPC (3件)：

C01B 33/12 , B09B 3/00 ZAB , B09B 3/00

FI (3件)：

C01B 33/12 Z , B09B 3/00 ZAB , B09B 3/00 304 J

Fターム (29件)：

4D004AA18 , 4D004AA24 , 4D004BA06 , 4D004CA13 , 4D004CA15 , 4D004CA21 , 4D004CA34 , 4D004CA37 , 4D004CA41 , 4D004CA44 , 4D004CA50 , 4D004CB32 , 4D004DA03 , 4D004DA06 , 4G072AA25 , 4G072AA28 , 4G072BB05 , 4G072CC04 , 4G072GG03 , 4G072HH14 , 4G072HH40 , 4G072JJ18 , 4G072LL06 , 4G072LL07 , 4G072MM03 , 4G072MM21 , 4G072MM31 , 4G072PP05 , 4G072QQ13

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭51-109916
合成石英ガラス粉末の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-102566 出願人：信越化学工業株式会社
特開平3-218914

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