反射型光ビーム走査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野田茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-351071
公開番号（公開出願番号）：特開2001-166248
出願日： 1999年12月10日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】光学性能を低下することなく高速描画を可能にした反射型光ビーム走査装置を提供すること。【解決手段】反射型光ビーム走査装置12は、光ビーム発生源14と、ポリゴンミラー・ユニット20と、ポリゴンミラー・ユニット20から反射された光ビームを通過させるfθレンズ24と、ポリゴンミラー・ユニット20とfθレンズ24との間の光路の途中に配設されたミラー22を備えている。ミラー22は、ポリゴンミラー16に対して光ビーム照射主軸AXの照射方向後方に配設され、fθレンズ24はポリゴンミラー・ユニット16の直上に配設されている。ポリゴンミラー・ユニット20はチャンバ40内に配設され、チャンバ40は周壁42と天井壁44を有している。天井壁44は放熱性の高い金属板52により形成されている。fθレンズ24は金属板52の上方に配設されている。

請求項（抜粋）：

光ビーム発生源と、前記光ビーム発生源から出射された光ビームを反射するポリゴンミラー・ユニットと、前記ポリゴンミラー・ユニットから反射された光ビームを通過させるfθレンズと、前記ポリゴンミラー・ユニットとfθレンズとの間の光路の途中に配設されたミラーと、これら光ビーム発生源、ポリゴンミラー・ユニット、fθレンズ、ミラーを収容するハウジングとを備えた反射型光ビーム走査装置において、前記ポリゴンミラー・ユニットは、ポリゴンミラーと、該ポリゴンミラーを回転駆動するポリゴンミラー駆動モータとからなり、前記光ビーム発生源は、光ビームを略々水平な方向で前記ポリゴンミラーに対して小さな角度で上方に斜めに射出するように配設され、前記ミラーは、前記ポリゴンミラーから反射された光ビームを略々水平な方向で前記ポリゴンミラーより僅かに上方へ反射するように配設され、前記fθレンズは、前記ミラーから反射された光ビームを通過させるように前記ポリゴンミラー・ユニットよりも上方に配設され、前記ハウジングは、前記ポリゴンミラー・ユニットを略々囲繞するチャンバを備えており、該チャンバはポリゴンミラー・ユニットの周囲に臨む周壁とポリゴンミラー・ユニットの上方に臨む天井壁とを有し、前記fθレンズは前記天井壁の上方に配設されている、ことを特徴とする反射型光ビーム走査装置。

IPC (3件)：

G02B 26/10 102 , G02B 26/10 , G02B 13/00

FI (3件)：

G02B 26/10 102 , G02B 26/10 D , G02B 13/00

Fターム (9件)：

2H045AA33 , 2H045BA02 , 2H045CA63 , 2H045DA04 , 2H045DA41 , 2H087KA19 , 2H087LA22 , 2H087TA01 , 2H087TA03

引用特許：

審査官引用 (10件)

反射型走査光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-287385 出願人：旭光学工業株式会社
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-077017 出願人：松下電器産業株式会社
走査光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-142116 出願人：旭光学工業株式会社

全件表示

前のページに戻る