オルガノシリコンナノクラスター及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-163718
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014841
出願日： 1997年06月20日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】スピンコートでシリコン薄膜の形成を可能とする。【解決手段】有機溶剤に可溶で、該溶液のTauc プロットにより求めたバンドギャップが3eVから1.2eV あるオルガノシリコンナノクラスター。

請求項（抜粋）：