特許
J-GLOBAL ID：200903015073350258

ウェハ-キャリヤ及びその製造方法

発明者：
サンジブ・エム・ブハット

サンジブ・エム・ブハット について

, 
ショウン・ディー・エガム

ショウン・ディー・エガム について


出願人/特許権者：
フルオロウェア・インコーポレーテッド

フルオロウェア・インコーポレーテッド について


代理人 (1件)： 岡田 英彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-150366
公開番号（公開出願番号）：特開2000-012673
出願日： 1999年05月28日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：
【要約】【課題】異なる材料で形成されたウェハーキャリヤの製造を簡略化する。【解決手段】少なくとも二つの異なる溶融処理可能なプラスチック材料で形成された複合型のウェハーキャリヤである。二つのプラスチック材料は最適な性能を発揮するように配置され、オーバーモールドプロセスのときに熱物理的な結合が行われる。ウェハーキャリヤは第1の成形型のキャビティの中でポリカーボネートを用いて第1の部分を成形し、成形された第1の部分を第2の成形型のキャビティの中へ設置し、その上にポリエーテルエーテルケトンを用いてウェハー係合部分をオーバーモールドすることによって形成される。
請求項（抜粋）：
ウェハーを一列に並べた状態で保持するためのウェハーキャリヤであって、a)第1の熱可塑性材料で形成されたベース部分と、b)前記ベース部分の上にオーバーモールドされた複数のウェハー接触部分を有するウェハー係合部分と、を有し、前記ウェハー係合部分が第2の熱可塑性材料で形成され、前記ウェハー接触部分が複数のスロットであり、前記ウェハー係合部分が前記ベース部分へ結合されているウェハーキャリヤ。
IPC (6件)：
H01L 21/68 ,  B29C 45/14 ,  B29C 45/16 ,  B29K 69:00 ,  B29K 73:00 ,  B29K 79:00
FI (3件)：
H01L 21/68 V ,  B29C 45/14 ,  B29C 45/16
引用特許：
審査官引用 (7件)
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