特許
J-GLOBAL ID：200903015091856339
荷電粒子線装置
発明者：
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出願人/特許権者：
,
代理人 (2件)：
作田 康夫
, 井上 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-329929
公開番号（公開出願番号）：特開2006-140070
出願日： 2004年11月15日
公開日（公表日）： 2006年06月01日
要約：
【課題】 荷電粒子線装置で試料において、試料表面の観察や加工部位に妨げとなる付着物等のゴミや異物を除去することを目的としており、荷電粒子線装置の試料交換装置に除去機能を有することで試料の観察,加工時直前に実施でき付着物を着実に除去できる。【解決手段】 荷電粒子線装置の試料交換装置9内にノズル状構造物12を設けた荷電粒子線装置で、前記ノズル状構造物12内部に窒素等の高圧ガス15を注入し、その先端にあるガス噴出口14から試料8表面上に向けて噴出し、ゴミや異物等を弾き飛ばして除去する方法。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
荷電粒子線照射時に真空状態となる試料交換装置内に、該試料交換装置内に載置された試料に気流を吹き付ける気流吹き付け手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
5C001CC04
, 5C001CC05
, 5C001CC07
, 5C001DD01
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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