特許
J-GLOBAL ID：200903015103842649

ポリアミド酸エステル組成物

発明者：
田村 信史

田村 信史 について

, 
美河 正人

美河 正人 について


出願人/特許権者：
旭化成エレクトロニクス株式会社

旭化成エレクトロニクス株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-252842
公開番号（公開出願番号）：特開2004-091572
出願日： 2002年08月30日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：
【課題】電気・電子材料の製造に有用な、高伸度であり、高い耐熱性、高い耐薬品性、耐水接着性を合わせ持ち、かつ高い解像度のポリイミドパターンを与え、かつ保存安定性が高い感光性組成物を提供する。【解決手段】(A)4価のカルボン酸を構成する芳香族基の全モル量に対して、5〜30%がベンゼン基であり、20〜90%がジフェニルエーテル基であり、ベンゼン基とジフェニルエーテル基の合計が50%以上であるポリアミド酸エステル、(B)0.3〜10重量%の有機チタン化合物、(C)溶媒、を含有する感光性組成物を調製する。【選択図】 選択図なし。
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(1)で表される繰り返し単位を包含するポリアミド酸エステルであって、
IPC (6件)：
C08L79/08 ,  C08G73/10 ,  C08K5/05 ,  C08K5/56 ,  G03F7/027 ,  H01L21/027
FI (6件)：
C08L79/08 A ,  C08G73/10 ,  C08K5/05 ,  C08K5/56 ,  G03F7/027 514 ,  H01L21/30 502R
Fターム (39件)：
2H025AA02 ,  2H025AA06 ,  2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AA10 ,  2H025AA11 ,  2H025AA13 ,  2H025AA15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC68 ,  2H025BC69 ,  2H025BC81 ,  2H025CA00 ,  2H025CC03 ,  2H025CC06 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J002CM041 ,  4J002EC007 ,  4J002EZ006 ,  4J002GP03 ,  4J043PA04 ,  4J043QB14 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043TA22 ,  4J043UA111 ,  4J043UA122 ,  4J043UA132 ,  4J043UA152 ,  4J043UA662 ,  4J043UA672 ,  4J043UB122 ,  4J043UB402 ,  4J043ZB21
引用特許：
審査官引用 (8件)
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