特許
J-GLOBAL ID：200903020334824310

耐熱性感光性樹脂組成物

発明者：
富川 真佐夫

富川 真佐夫 について

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藤田 陽二

藤田 陽二 について

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諏訪 充史

諏訪 充史 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-325154
公開番号（公開出願番号）：特開2001-139806
出願日： 1999年11月16日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】低露光量でパターン加工でき、かつパターン加工後の収縮率の小さい耐熱性感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造単位を有するポリマーと、(b)感光剤と、(c)溶媒から構成される耐熱性感光性樹脂組成物。(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から8価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から8価の有機基、R3、R4、R5、R6は水素、または炭素数1から20までの1価のアルキル基、1つ〜3つまでの不飽和結合を有する1価の有機基を示している。また、R5、R6はすべて水素であることはない。nは3から100000までの整数、p、qは0から4までの整数を示す。r、sは0から2までの整数を示す。)
請求項（抜粋）：
(a)一般式(1)で表される構造単位を有するポリマーと、(b)感光剤と、(c)溶媒から構成される耐熱性感光性樹脂組成物であって、一般式(1)で表されるポリマーを濃度20重量%にした時の溶液の粘度が、溶媒N-メチル-2-ピロリドンのみで一般式(1)で表されるポリマーを同じ濃度にしたときの溶液の粘度に対して、1.3倍から7倍であることを特徴とする耐熱性感光性樹脂組成物。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から8価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から8価の有機基、R3、R4、R5、R6は水素、または炭素数1から20までの1価のアルキル基、1つ〜3つまでの不飽和結合を有する1価の有機基を示している。また、R5、R6はすべて水素であることはない。nは3から100000までの整数、p、qは0から4までの整数を示す。r、sは0から2までの整数を示す。)
IPC (3件)：
C08L 79/08 ,  G03F 7/027 514 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
C08L 79/08 ,  G03F 7/027 514 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (36件)：
2H025AA01 ,  2H025AA10 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC13 ,  2H025BC69 ,  2H025BC70 ,  2H025BC86 ,  2H025BE01 ,  2H025BJ06 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CB45 ,  2H025CC03 ,  2H025FA17 ,  4J002CM031 ,  4J002CM041 ,  4J002EC047 ,  4J002EE036 ,  4J002EE037 ,  4J002EE056 ,  4J002EH037 ,  4J002EN076 ,  4J002EQ016 ,  4J002ER006 ,  4J002ES006 ,  4J002EU116 ,  4J002EU186 ,  4J002EV216 ,  4J002EV326 ,  4J002FD206 ,  4J002FD207 ,  4J002GP03
引用特許：
審査官引用 (6件)
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